판매용 중고 SSM / SOLID STATE MEASUREMENTS 470i #9412433
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SSM/SOLID STATE MEASUREMENTS 470i Wafer Testing and Metrology 장비는 집적 회로, MEMS 컴포넌트 및 웨이퍼 레벨 패키징의 도량형 테스트를위한 고급 도구입니다. 하위 나노 미터 해상도 자동 광학, 주사 전자 현미경 (SEM) 및 마이크로 조작 기능과 최첨단 패턴 인식 및 데이터 분석 기술을 결합합니다. 이러한 기능을 결합하여, 이 시스템은 다양한 반도체 재료와 장치를 빠르고 정확하게 분석하기위한 가장 포괄적인 플랫폼 (platform) 을 제공합니다. SSM 470i는 많은 웨이퍼 위치, 스캔 영역, 샘플 방향 (sample orientation) 을 허용하는 대형 웨이퍼 처리 영역으로 설계되었습니다. 이 장치에는 자동 초점 요소 (automated focusing element) 가 장착되어 있으며, 각 샘플에 정확하게 초점을 맞출 수 있으며, 0.5 미크론 (micron) 정도의 기능의 해상도를 가능하게합니다. 내장형 7 메가 픽셀 디지털 컬러 카메라는 기계의 데이터 캡처 능력을 더욱 향상시키는 한편, 자동화된 막 정렬 (membrane alignment) 기능은 모든 방향에서 정확한 측정을 보장합니다. 솔리드 스테이트 측정 (SOLID STATE MEASUREMENTS) 470i에는 정확한 웨이퍼 측정 및 도량형 작업을 지원하는 일련의 자동 측정 도구가 장착되어 있습니다. 이러한 도구를 사용하면 적분 피쳐 크기, 표면 거칠기, 광학 편평도 (optical flatness), 전자 빔 해상도 (electron beam resolution) 등 웨이퍼의 중요한 물리적 특성을 정확하게 측정할 수 있습니다. 이 도구의 소프트웨어에는 고급 광학 데이터 분석 알고리즘 (Optical Data Analysis Algorithm) 도 포함되어 있습니다. 이 알고리즘은 정확한 비접촉 높이 측정을 위한 원시 데이터를 분석합니다. 정확한 평면 내 요소 도량형을 위해 470i 자산은 일련의 자동 스캐닝 프로브 현미경 도구를 보완합니다. 이러한 도구는 다양한 2D, 3D 및 나노 스케일 측정에 대한 정확한 결과를 제공합니다. 이 모델에는 고급 패턴 인식 알고리즘 (advanced pattern recognition algorithm) 이 포함되어 있어 재료 샘플의 정밀한 원소 분석을 용이하게합니다. SSM/SOLID STATE MEASUREMENTS 470i (SSM/SOLID STATE MEASUREMENTS 470i) 의 매우 정확한 광학 및 SEM 측정을 통해 중요한 장치와 구성 요소의 성능을 매우 정확하게 분석할 수 있습니다. 이 장비는 고급 마이크로 조작 (micro-manipulation) 기능을 설계에 통합함으로써 포장 및 웨이퍼 레벨 프로브의 정확성을 향상시키는 데 도움이됩니다. 요약하면, SSM 470i Wafer Testing and Metrology 시스템은 집적 회로 및 기타 반도체 재료의 소규모의 기능을 정확하고 신속하게 분석하는 고급, 포괄적 인 솔루션입니다.
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