판매용 중고 SSM 6100 #9055345

SSM 6100은 반도체 장치 제조를 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 5 인치 또는 6 인치 웨이퍼에서 동적 광 산란, 타원 측정법 및 총 내부 반사율 분광법을 허용합니다. 이 시스템은 고감도 과학 등급 광학을 사용하여 최첨단 이미지 및 데이터 획득 기능을 제공합니다. 이 장치는 밀봉형 주택에 장착 된 가벼운 터널을 통합합니다. 이를 통해 테스트 영역의 빛이 매우 민감한 분광계에 집중될 수 있습니다. 이 터널은 또한 일반 현미경과 관련된 가로등 및 열 소음을 줄이는 데 도움이됩니다. 사용자는 머신을 0.005mm 정도의 얇은 재료에 대한 비파괴적 테스트를 수행하도록 구성할 수 있습니다. 또한 x-y 스테이지는 0.002mm의 정확도로 161.2mm x 177.8mm의 최대 샘플 영역을 제공합니다. 6100은 웨이퍼 표면의 높은 정밀 데이터 획득을 제공합니다. LED, 고출력 레이저, 할로겐 전구 등 다양한 광원이 있습니다. 각 소스는 고해상도 (high resolution) 에서 물리적 특성을 효율적으로 측정하도록 설계되었습니다. 공구의 읽기 속도는 초당 최대 10,000 개입니다. 또한 신호 대 잡음 비율이 높아 사용자가 매우 정확한 측정을 캡처 할 수 있습니다. 자산은 다양한 분석 기능을 제공합니다. 여기에는 별다른 왜곡이 없는 이미지를 렌더링하는 강력한 이미지 처리 알고리즘이 포함되어 있습니다. SSM 6100 소프트웨어는 다중 분산, 통합 분석, 다중 이미지 상관 관계 분석 등 다양한 수준의 분석을 제공합니다. 이를 통해 사용자는 박막 두께와 표면 거칠기를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 전반적으로 6100은 반도체 장치에 대한 정확하고 안정적인 테스트를 제공하도록 설계되었습니다. 고급 조명 터널 설계, 고정밀 분광기 및 일련의 분석 기능을 제공합니다. 이를 통해 사용자는 웨이퍼에서 박막 레이어의 물리적 속성을 빠르고 정확하게 측정 할 수 있습니다.