판매용 중고 SSM 150 #9101487
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ID: 9101487
Spreading resistance probes (SRP)
Main electronics cabinet
Microscope / Probe stage assembly
Heated probe option installed
IBM Pentium computer system
Probes.
SSM 150은 반도체 웨이퍼에서 복잡한 구조의 정확한 측정을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템에는 샘플 리프트, 광학 현미경, 포토 마스크, 현미경 램프, 광학 선형 모션 스테이지, 이미지 획득 장치, 중심 장치, 비디오 디스플레이, 3D 추적 기계 및 기울기 조정 도구를 포함하여 테스트 및 도량형에 필요한 모든 구성 요소가 포함됩니다. 예제 리프트는 최대 150mm 직경의 웨이퍼 샘플을 보관하도록 설계되었으며, 광학 현미경은 고해상도 렌즈 에셋 (high-resolution lens asset) 을 사용하여 샘플을 분석 할 때 선명도와 정밀도를 보장합니다. photomask는 웨이퍼 샘플의 복잡한 영역을 정확하게 분석하는 데 사용됩니다. 현미경 램프는 샘플을 비추어 패턴과 특징을 정확하게 볼 수 있습니다. 광학 선형 동작 단계 (Optics Linear Motion Stage) 는 마이크로 포지셔닝 플랫폼을 앞뒤로 이동하여 샘플을 분석에 적합한 위치로 조정합니다. 이미지 가져오기 (Image Acquisition) 모델은 샘플의 고해상도 이미지를 캡처합니다. 이 이미지는 비디오 모니터에 표시됩니다. 중심 장치 (centering device) 는 샘플이 제대로 정렬되어 있고 분석에 가장 적합한 위치에 있는지 확인합니다. 3D 추적 (3D Tracking) 장비는 주어진 위치에 샘플 방향을 기록하고 기울기 조정 시스템 (Tilt Adjustment System) 을 사용하여 보다 나은 이미지 선명도를 위해 샘플을 임의의 방향으로 기울일 수 있습니다. 이 모든 특징들은 반도체 웨이퍼 (wafer) 에 발견 된 복잡한 구조를 심층적으로 분석하기위한 포괄적 인 도량형 도구를 만들기 위해 결합됩니다. 이 장치는 수백 개의 wafer 샘플을 매우 높은 해상도로 캡처, 분석, 저장하는 기능을 제공합니다. 이러한 이미지에서 얻은 데이터는 품질 관리 (Quality Control) 에서 설계 최적화 (Design Optimization) 에 이르기까지 다양한 용도로 사용될 수 있습니다. 150 기계는 미세 및 거시적 규모의 반도체 웨이퍼를 분석하기위한 정확하고 신뢰할 수있는 도구를 제공합니다. 직관적 인 디자인과 다양한 기능으로 SSM 150은 모든 웨이퍼 테스트 또는 도량형 실험실을위한 귀중한 도구입니다.
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