판매용 중고 SONOPLOT GIX Microplotter #9303841
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ID: 9303841
System
Non-contact deposition
3-Axis positioning with 20µm resolution
Consistent spot size and shape
Coefficients of variability: <10%
Automated surface height calibration
FireWire camera
With integrated digital video capture
Interchangeable holding platen for substrate size
Computer: iMac.
SONOPLOT GIX Microplotter는 반도체 웨이퍼 재료의 전기 및 물리적 특성을 측정하는 데 사용되는 최상위 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 이 시스템은 주사 전자 현미경 (SEM), 집중 이온 빔 (FIB), 레이저 스크라이빙, 적외선 (IR) 이미징, 광학 분광학 및 원자력 현미경 (AFM) 과 같은 다양한 기술을 사용합니다. GIX 마이크로 플로터 (GIX Microplotter) 는 웨이퍼 재료 표면의 고해상도 이미지를 찍을 수 있습니다. 이것은 각각의 개별 웨이퍼를 스캔하는 반면, 2 개의 레이저는 동시에 표면을 스캔함으로써 달성됩니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '재료 의 성질 을 정확 하게 측정 할 필요 가 있는 정밀 한 수준 의 세부점 과 정확도 를 얻을 수 있다. 또한 SONOPLOT GIX Microplotter는 10 미크론 미만의 영역을 사용할 수 있으므로 매우 작은 기능을 측정 할 수 있습니다. 또한 GIX 마이크로 플로터 (GIX Microplotter) 에는 고급 FIB 기능이 장착되어 웨이퍼 표면에서 재료를 증착 및 제거 할 수 있습니다. 파퍼 (wafer) 테스트 및 도량형 (metrology) 에서 중요한 도구로서, 웨이퍼 (wafer) 재료를 정확하게 테스트하기 위해 표면 피쳐를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 SONOPLOT GIX Microplotter는 전기 특성을 측정하기 위해 밀링 및 접촉 지점 테스트를 수행 할 수 있습니다. GIX Microplotter는 또한 테스트 절차를 단순화하기 위해 소프트웨어 패키지로 향상되었습니다. 이 GUI 기반 소프트웨어는 훌륭하고 사용하기 쉬운 인터페이스를 제공하여 다양한 매개변수를 입력할 수 있습니다. 그런 다음 이러한 매개변수를 컴퓨터에 프로그래밍할 수 있으며, 머신은 이러한 매개변수 (parameters) 와 가이드라인 (guideline) 을 기반으로 데이터를 가져옵니다. 이 기능만으로도 웨이퍼 테스트 및 도량형이 크게 단순화됩니다. 전반적으로 SONOPLOT GIX Microplotter는 전례없는 정확성과 정확도를 제공하는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 고해상도 이미징 (High-resolution Imaging) 에서 FIB (FIB) 기능에 이르기까지 다양한 기능을 갖추고 있으며, 소프트웨어 기반 GUI를 통해 사용자의 프로세스를 단순화할 수 있습니다. GIX 마이크로 플로터 (GIX Microplotter) 를 사용하면 웨이퍼 재료의 특성을 정확하고 안정적으로 측정할 수 있습니다.
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