판매용 중고 SOLARIUS Viking #9211447

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ID: 9211447
Laser profilometer P/N: U100B-H26-R313.
솔라리우스 바이킹 (SOLARIUS Viking) 은 웨이퍼 제조업체가 웨이퍼 장애 감지 및 특성화와 관련된 시간과 비용을 줄일 수있는 혁신적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 레이저 기반 장애 감지 (fault detection) 와 자동 평가 (automatic evaluation) 를 활용하여 빠르고 안정적이며 비용 효율적인 결과를 제공합니다. 이 장치는 장애 감지 및 특성화에 7 축 마이크로 포지셔닝 단계 (micro-positioning stage) 와 레이저 광학적으로 정렬 된 스크리버 (scriber) 를 사용하여 기계가 높은 정밀도로 웨이퍼 결함을 정확하게 식별하고 측정 할 수 있습니다. 또한이 도구는 고속 레이저 센서를 사용하여 웨이퍼 평면도 (wafer flatness), 서피스 거칠기 (surface roughness), 결함 영역 (defect area) 등 다양한 도량형 매개변수를 빠르게 측정할 수 있습니다. 이러한 측정은 3 개의 축을 따라 웨이퍼 표면에서 수행됩니다. 이 자산에는 자동 결함 평가를위한 고급 소프트웨어 툴도 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어는 장애 데이터를 자동으로 정렬하고 여러 사용자 정의 범주로 분류하여 추가 검토를 수행합니다. 또한, 사용자는 소프트웨어를 사용하여 특정 장애를 식별하고 분석하고, 진단 보고서를 생성할 수 있습니다. 이 도구는 모델과 함께 작동하여 "웨이퍼 '결함 (wafer fault) 을 빠르고 정확하게 진단하고, 웨이퍼 (wafer) 의 상태와 성능에 대한 주요 정보를 확인합니다. 또한, SOLARIS Viking은 사용이 간편한 GUI (Graphical User Interface) 를 제공하여 장비 성능을 제어 및 모니터링할 수 있습니다. GUI 는 측정 결과에 대한 실시간 피드백을 제공하며, 잠재적 이상이나 장애를 강조합니다. 또한 사용자가 추가 조사를 위해 BOI (Box of Interest) 를 생성할 수 있으며, 사용자가 데이터와 파일을 쉽게 익스포트할 수 있습니다. 요약하자면, SOLARIAS SOLARIUS Viking은 웨이퍼 제조업체와 다른 업계 전문가들이 손쉽게 웨이퍼 결함을 분석, 감지, 특성화할 수 있는 강력하고 효율적인 방법을 제공합니다. 레이저 기반 장애 감지 (fault detection), 자동 평가 (automated evaluation), GUI (Graphical User Interface) 를 활용하면 Wafer Fault를 빠르고 안정적으로 분석하고 식별할 수 있으며 비용 절감도 가능합니다.
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