판매용 중고 SII NANOTECHNOLOGY / SEIKO Chips200 #9043060

SII NANOTECHNOLOGY/SEIKO Chips200은 반도체 장치 및 재료의 중요한 전기, 물리적, 광학적 특성에 대한 정확하고 실시간 측정을 제공하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 피쳐/변형 측정, 나노 미터 스케일 분석, 실패 분석 등 웨이퍼 서피스 데이터를 분석 할 수 있습니다. 이 시스템은 광학 편광 이미징, 다크 필드 이미징 및 전자 백스캐터 회절 (EBSD) 을 포함한 독특한 범위의 이미징 기술을 통합합니다. 이러한 기술을 통해 고해상도 이미징 (high-resolution imaging) 및 기능별 분석 (grain boundary), 인터페이스 거칠기 (interface roughness), 미세 결함 (micro-defects) 등 다양한 기능을 사용할 수 있습니다. 이 장치의 다크 필드 이미징 기능을 통해 전위, 곡물 경계, 쌍둥이, 산화물 층 등과 같은 형태 학적 특징을 감지 할 수 있습니다. 특히 고장 분석 (failure analysis) 에 유용하며, 다양한 결함을 관찰하고 찾을 수 있습니다. 한편, EBSD 기술은 전자 빔을 사용하여 결정 방향의 회절 패턴을 만듭니다. 이것은 웨이퍼의 결정 구조를 정확하게 측정하는 데 사용될 수 있으며, 결정 방향, 곡물 크기, 결정 결함에 대한 정보를 제공합니다. 이 기계에는 고급 웨이퍼 도량형 기능도 장착되어 있습니다. CD (임계 치수), 접촉 구멍 크기, 선 너비, 오버레이 등의 3차원 매개변수를 자동으로 측정할 수 있습니다. 이러한 방법으로, SEIKO Chips200은 장치 성능을 평가하는 데 사용할 수 있는 데이터를 빠르게 생성할 수 있습니다. 이 도구는 설치하고 사용하기 쉽습니다. 경험이없는 사용자에게도 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 가 제공됩니다. 또한 운영 및 데이터 입력이 매우 자동화되어 매우 효율적이고 경제적입니다 (영문). 전반적으로 SII NANOTECHNOLOGY Chips200은 강력하고 다용도 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산입니다. 반도체 장치의 고정밀도 측정 및 분석을 위한 다양한 기능을 제공합니다 (영문). 첨단 이미징 (advanced imaging) 기술과 자동화 (automated) 작업을 통해 디바이스 품질과 성능을 모니터링할 수 있는 매우 유용한 툴입니다.