판매용 중고 SIEMENS WalkAway 96Si #9231383

SIEMENS Away 96Si Wafer Testing and Metrology Equipment는 신뢰성 있는 성능과 정확한 결과를 제공하면서 처리량을 극대화하도록 설계된 모든 기능을 갖춘, 자동화된 인라인 측정 시스템입니다. 96Si 장치는 고정밀 광학 측정, 고급 결함 이미징 및 자동 웨이퍼 처리를 결합하여 종합적인 웨이퍼 프로세스 및 검사 솔루션을 제공합니다. 이 기계는 최대 길이 930mm, 직경 630mm의 웨이퍼를 측정 할 수 있으며, 최대 6 개의 웨이퍼를 동시에 처리 할 수 있습니다. 이 도구는 레이저 간섭계를 기반으로 한 다중 센서 광학 도량형 자산과 여러 산포 도량형 채널을 갖추고 있으며, 고정밀 3D 표면 도량형을 제공합니다. 96SI는 또한 고해상도 검사 (high-resolution inspection) 및 광학 현미경 (optic microscopy) 을 포함한 다양한 결함 이미징 기능을 갖추고 있으며, 단일 원자 크기만큼 작은 결함에서 가장 큰 공통 결함까지 다양한 결함을 자동으로 식별하고 분류할 수 있습니다. 또한이 모델은 단일 웨이퍼에 최대 10 개의 그리드 (4,600 스티치) 를 배치 할 수 있으며, 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 포지셔닝 및 매핑을 제공합니다. 96Si 장비는 완전히 자동화되어 통합 웨이퍼 처리, 자동 결함 검토, 상세한 교차 웨이퍼 분석 기능을 제공합니다. 통합 열 제어 시스템 (Integrated Thermal Control System) 은 고정밀 측정 시 왜곡을 최소화하기 위해 안정적인 샘플 온도를 유지하는 반면, 자동 교정 프로세스는 결과의 정확성, 반복성 및 신뢰성을 보장합니다. 또한, 장치 는 호스트 "컴퓨터 '와 상호 작용 하여" 웨이퍼' 를 "컴퓨터 '로 직접 운반 하거나" 컨베이어' 를 통해 전송 할 수 있으며 상태 모니터링 및 "알람 보고 '를 호스트 도구 로 직접 생성 할 수 있다. 96Si 자산은 정확하고 안정적인 웨이퍼 처리에 필요한 업계 최고의 자동화 및 측정 기능을 제공합니다. 이 모델은 효율성을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 따라서 사용자는 설정 시간 (time) 과 유지 보수 (maintenance) 를 최소화하여 광범위한 자동 루틴을 프로그래밍할 수 있습니다. 96SI의 통합 웨이퍼 처리, 결함 이미징 및 고급 도량형 (metrology) 기능은 정확하고 안정적인 측정 결과를 통해 프로세스 제어 향상, 최적화, 웨이퍼 품질 보증을 보장합니다.