판매용 중고 SHIBAURA AutoEL-Ⅲ #293616277
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SHIBAURA AutoEL-은 최고 수준의 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 높은 처리량과 정확도를 제공합니다. 이 시스템은 다양한 환경에서 다양한 와퍼 (wafer) 너비와 두께를 검사할 수 있습니다. 이 장치의 주요 기능으로는 고해상도 (High Visual Resolution), 다중 사이트 샘플링, 고해상도 (High Throughput), 낮은 유지 관리, 다양한 도량형 및 테스트 옵션 등이 있습니다. 이 기계에는 실시간 웨이퍼 레벨 테스트 및 도량형이 가능한 다이 투 다이 검사 도구가 있습니다. 이 자산은 두께, 높이, 너비 등 다양한 측정에 최대 4 개의 레이저를 사용합니다. 또한 "와퍼 '를 정렬 하고 집중 하기 위한 일련의" 센서' 와 결함 을 탐지 하고 중요 한 특징 을 포착 하기 위한 "센서 '가 있다. 또한이 모델은 웨이퍼 인덱싱, 20nm까지의 정확성, 실시간 웨이퍼 레벨 테스트 및 도량형을 제공합니다. 또한 AutoEL - -에는 사용하기 쉽고 유지 관리하기 쉬운 여러 가지 자동 기능이 있습니다. 여기에는 프로그래밍 및 상호 작용을 단순화하는 "자동 구이 (Auto-gui)" 소프트웨어 패키지와 동일한 웨이퍼에서 여러 번의 테스트 실행을 허용하는 자동 정렬 장비 (Automated Alignment Equipment) 가 포함됩니다. 또한, 시스템은 자동 급지 및 배출 기능과 다양한 정렬 및 측정 기능을 가지고 있습니다. 이 장치는 또한 다양한 온스크린 데이터 모니터링 (on-screen data monitoring) 옵션을 제공하여 즉시 테스트 결과를 비교, 분석할 수 있습니다. wafer map, fault summary, wafer basic results 등 다양한 보고서를 생성할 수도 있습니다. 또한 이 시스템은 PC 또는 다른 호스트 장치에 도구를 연결하는 USB 포트를 제공합니다. SHIBAURA AutoEL- -는 대용량 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 완벽한 솔루션입니다. 속도, 정확도, 유연성을 결합하면 높은 처리량, 멀티 사이트 샘플링, 실시간 웨이퍼 레벨 테스트 및 도량형에 이상적인 툴이 됩니다. 또한, 이 자산은 유지 보수가 적고 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 제공하여 모든 wafer testing 및 metrology 애플리케이션에 적합합니다.
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