판매용 중고 SHB INSTRUMENTS 110-2 #9203528

SHB INSTRUMENTS 110-2 (SHB INSTRUMENTS 110-2) 는 다양한 어플리케이션에서 고성능 및 정확성을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 주요 기능은 완전히 자동화 된 2 단계 광학 테스트 시스템으로, 작은 반도체에서 큰 영역 테스트 및 넓은 영역 프로세스 웨이퍼 (wafer) 에 이르기까지 광범위한 웨이퍼 유형을 분석 할 수 있습니다. 이 장치는 효율적이고 안정적인 테스트 플랫폼을 만들기 위해 완벽하게 통합 된 두 가지 주요 구성 요소 (웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 와 도량형 머신 (metrology machine)) 로 구성됩니다. 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 는 테스트 중에 웨이퍼를 고정하고 배치하는 수단으로 사용되며, 얇은 기판 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. XYZ 축에서 웨이퍼를 배치 할 때 서브 미크론 정밀도를 달성 할 수있는 고정밀 전동 Z 스테이지가 장착되어 있습니다. 웨이퍼 스테이지에 와페 라우 토 (waferauto) 핸들러를 추가하여 테스트 스테이션으로 최대 8 개의 웨이퍼를 이동할 수 있습니다. 도량형 도구는 웨이퍼의 실제 테스트를 수행합니다. 고정밀도 현미경, 하드웨어 가속 센서, 결함 영역, 두께, 평탄도를 측정하는 특수 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 또한 비 통일성, 비 접촉, 브리지 결합 및 결함 패턴과 같은 비시각 표면 결함을 감지 할 수 있습니다. 자산은 최대 3 차원 (X, Y, Z) 동시 테스트를 수행할 수 있으며 초당 최대 8 개의 샘플을 작동 할 수 있습니다. 110-2는 반복 정확도와 반복성이 각각 0.1 "m '및 0.05" m' 로 정확한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 이 모델은 강력한 자동 데이터 처리 아키텍처 (Automated Data Handling Architecture) 를 기반으로 설계되어, 재설정하기 전에 최대 1 시간 동안 계속 작동할 수 있습니다. 이 안정적이고 효율적인 테스트 장비를 사용하면 정확하고 안정적인 결과를 빠르고 쉽게 얻을 수 있습니다.