판매용 중고 SENSYS SMS-2000 #144008

SENSYS SMS-2000은 까다로운 반도체 응용 프로그램을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 탁월한 스핀들 (spindle) 및 글로벌 플랜설러니티 (global planality) 를 제공하며 탁월한 분석 및 웨이퍼 에지 탐지 기능을 제공합니다. 완전하게 자동화된 웨이퍼 처리 (wafer handling) 및 웨이퍼 전송 시스템 (wafer transfer system) 으로 구축되어 수동 웨이퍼 테스트 및 도량형과 관련된 노동 집약적 운영을 줄입니다. 이 장치는 자동화된 물리적 및 비파괴 WTS (Wafer Transfer Machine), 2 개의 제어 엔클로저 및 2 개의 수동 로드 및 언로드 스테이션으로 구성됩니다. WTS는 정밀 동작 제어를 제공하여 테스트 기판의 정확하고 반복 가능한 전송을 허용합니다. 3 개의 추적 레벨 제어점은 슬릿 (slit) 및 스핀들 (spindle) 매개변수를 측정하여 웨이퍼의 고정밀 측정을 허용합니다. 평면 분석 및 웨이퍼 엣지 검출 모듈은 WTS와 통합되어 웨이퍼의 글로벌 평면 (global planarity) 을 측정하고 에지 손상 (edge damage) 또는 외래 입자를 식별합니다. SMS-2000은 3D 비접촉 도량형, 중요 치수 (CD) 도량형 및 도량형 결함 검사를 포함한 다양한 도량형, 이미징 및 테스트 응용 프로그램을 지원합니다. 다양한 유형의 결함 유형과 크기를 평가할 수 있으므로, 고밀도 내부 회로 및 다중 도량형 응용 프로그램 (Multiple Metrology Application) 을 갖춘 IC를 분석하는 데 사용될 수 있습니다. 게다가, 빠른 웨이퍼 환율로 인해, 고급 마이크로 일렉트로닉 장치의 대량 생산에 적합합니다. 이 도구에는 나노 미터 스케일 장치의 정확한 특성화를위한 고해상도 측정 자산이 있습니다. 이 제품은 향상된 옵틱과 고출력 레이저 빔을 장착하여 반도체 박막 구조에서 회절 제한 이미지의 높은 정확도 이미징을 제공합니다 (영상). 또한 독점 다기능 분석 (Multi-Function Analysis) 을 지원하여 기존의 단일 기능 분석보다 빠른 측정이 가능합니다. SENSYS SMS-2000 은 SENSYS SMS-2000 의 기술 기능 외에도 강력한 소프트웨어 인터페이스를 통해 모델을 보다 높은 수준의 소프트웨어 제품군에 쉽게 통합할 수 있습니다. 사용자에게 친숙한 메뉴를 통해 장비 설정과 데이터 분석에 빠르고 직관적으로 액세스할 수 있습니다. 또한 포괄적인 테스트 결과, 요약 통계, 비교 데이터 등 다양한 보고서를 작성하도록 시스템을 구성할 수 있습니다 (영문). 전반적으로 SMS-2000은 뛰어난 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치입니다. 설치가 쉽고, 정확한 결과를 제공하며, 전례없는 신뢰성을 제공합니다. 결과적으로, 그것은 까다로운 반도체 응용 분야에 이상적인 선택입니다.