판매용 중고 SDI SPV 1010 #138847
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SDI SPV 1010은 웨이퍼의 하위 미크론 측정을 생성하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 기계는 광학 간섭 기술 (optical interferometry technology) 을 활용하여 반도체 처리 및 제조 작업에서 높은 정확도, 반복 가능성 및 해상도를 제공 할 수 있습니다. 시스템은 샘플 스테이지, 조명 소스 및 카메라/광학 장치로 구성됩니다. 샘플 스테이지는 최대 200mm 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 조명 소스는 평평함, 홈 (groove) 또는 장소 테스트 (place testing) 를 목적으로 백라이트, 톱 라이트 및 사이드 라이트 조명을 제공 할 수 있습니다. 카메라/옵티컬 머신에는 CCD 카메라, 오브젝티브 렌즈 및 DMD 미러가 포함되어 있습니다. SPV 1010은 또한 웨이퍼의 표면 거칠기 및 단면 표면 품질 분석을 용이하게합니다. DIPT (direct-in-plane technique) 를 사용하여 표면 거칠기, 표면 형태 오류 및 기타 효과에 대한 나노 측정 학적 측정을 웨이퍼 표면에서 정확하게 측정 할 수 있습니다. 고급 SPI (Speckle-based Interferometry) 기술은 도구의 표면 측정에도 사용됩니다. SDI SPV 1010은 글로벌 (Global) 및 로컬 (Local) 기능 (GLF 및 LCL) 을 포함한 이미지 처리 알고리즘을 결합하여 샘플을 측정 할 때 가장 적합한 매개변수를 결정합니다. 이를 통해 측정이 매우 정확하고 신뢰할 수 있습니다. SPV 1010 하드웨어는 시스템의 작동을 제어하는 소프트웨어와 통합됩니다. 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 사용하면 사용자가 쉽게 작업을 수행할 수 있으며 모든 기능을 에셋에 대한 사전 지식 없이 액세스할 수 있습니다. 또한 분석용 통계 데이터를 수집하고 표시할 수 있습니다. 전반적으로, SDI SPV 1010은 대형 웨이퍼 스캐닝, 스티치 서피스 (stitched surface) 및 광학 이미지의 이미지 정렬에 사용할 수있는 안정적이고 안정적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 이 모델은 반도체 품질 보증 및 검사, 웨이퍼 레벨 옵토일렉트로닉스 (Wafer Level Optoelectronics) 및 마이크로 일렉트로닉 산업 분야에서 광범위한 응용 분야를 갖추고 있습니다.
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