판매용 중고 SCI FilmTek 4000 #9078037

SCI FilmTek 4000
ID: 9078037
빈티지: 2000
EUV System, 2000 vintage.
SCI FilmTek 4000 (SCI FilmTek 4000) 은 다양한 기판의 박막 레이어에 대해 정확하고 안정적인 측정을 제공하기 위해 설계된 종합 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. FilmTek 4000은 고급 이미징 분광법 기술을 사용하여 마이크로미터에서 최대 500 나노미터까지 다양한 필름 두께를 정확하게 측정합니다. 즉, 필름 (film) 과 기판 (substrate) 을 제어하고 모니터링할 수 있을 뿐 아니라 쉽게 읽을 수 있는 결과를 고객에게 제공할 수 있는 유연성을 제공합니다. SCI FilmTek 4000은 기판에서 투명, 불투명, 패턴 필름 층을 측정하는 등 다양한 물리적, 화학적 측정을 제공합니다. 최첨단 광학 설계는 근방 (near) 및 원거리 (far-field) 의 다양한 레이어 두께를 높은 정확도로 측정하도록 최적화되었습니다. 이 시스템은 다른 유사한 시스템에 비해 소음 수준이 낮고, 스캔 속도가 빠릅니다. 이 장치에는 자동 제어 챔버 (automatic controlled chamber) 가 있으며, 청결도를 유지하고 테스트를 정확하게 수행하는 데 필요한 온도, 습도 및 기압을 제어합니다. 컴퓨터에는 직관적인 인터페이스 (interface) 가 있어 모든 기능과 기능에 빠르게 액세스할 수 있습니다. 또한, 정확한 위치 해상도와 반복 가능한 정렬을 위해 높은 정확도 인코더를 갖습니다. FilmTek 4000에는 자동 웨이퍼 처리 도구, 수동 및 자동 회전 샘플 단계, 온도 및 환경 컨트롤러, 다양한 유형의 마스킹 단계 (masking stage) 등 다양한 특수 액세서리가 있습니다. 또한, 자산에는 자동 광학 및 전기 테스트와 각도 해결 분광법, 타원법, 반사율, 투과율과 같은 다중 분석 도구가 있습니다. SCI FilmTek 4000은 박막 테스트 및 도량형에서 뛰어난 유연성과 정확성을 제공하는 강력하고 안정적인 모델입니다. 이 제품은 고품질 광, 전자 및 반도체 장치의 프로세스 제어 및 개발에 이상적입니다.
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