판매용 중고 RUDOLPH WS 3880 #9225120

RUDOLPH WS 3880은 생산 및 연구 테스트를 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 광학 (optical) 과 열도량형 (thermal metrology) 의 조합을 활용하며 백사이드 수동화 (backside passivation) 및 칩 결합 강도 테스트를 포함한 다양한 응용 프로그램에 사용될 수 있습니다. RUDOLPH WS3880에는 2 개의 고해상도 광학 이미징 시스템과 한 번에 최대 4 개의 웨이퍼를 테스트 할 수있는 고급 열 도량형 시스템이 장착되어 있습니다. WS 3880의 광학 영상 시스템은 마이크로 포트 조명 장치 (microspot illumination unit) 와 웨이퍼 표면의 다양한 측면을 볼 수있는 10 배의 현미경을 갖추고 있습니다. 마이크로스팟 머신 (microspot machine) 은 웨이퍼에서 각 장치 주변의 경계를 정확하게 찾는 데 사용됩니다. 이 도구는 또한 참호, 구멍 및 기타 기능을 찾을 수 있습니다. 10 배 현미경은 웨이퍼 표면의 고해상도 뷰를 제공하며, 수동화 두께 (passivation thickness), 도핑 균일성 (doping unifority) 및 장치의 성능을 평가하는 데 사용됩니다. WS3880 은 또한 고급 열 도량형 자산 (Advanced Thermal Metrology Asset) 을 갖추고 있는데, 이 자산은 웨이퍼 접촉 패드를 통해 가져온 전류의 양을 측정하도록 설계되었습니다. 이 모델은 최대 4 개의 다른 테스트 패드를 통해 그린 전류를 측정할 수 있으며, 높은 정확도와 해상도 (resolution) 를 통해 칩 본드 강도를 빠르고 정확하게 분석 할 수 있습니다. 또한 정확한 결과를 보장하기 위해 다양한 환경 통제가 포함되어 있습니다. 루돌프 (RUDOLPH) WS 3880은 광학 및 열 도량형 시스템 외에도 테스트 결과를 저장 및 분석하는 종합적인 데이터 관리 장비를 포함합니다. 이 시스템은 최대 10,000 개의 데이터 포인트를 저장할 수 있으므로 빠르고 효율적으로 분석할 수 있습니다. 데이터 관리 장치 (data management unit) 에는 데이터를 쉽게 보고 분석하는 데 사용되는 그래픽 사용자 인터페이스도 포함되어 있습니다. 전반적으로, RUDOLPH WS3880은 다양한 응용 프로그램에 사용될 수있는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계입니다. 종합적인 데이터 관리 툴과 결합된 광학 및 열 도량형 (optical and thermal metrology) 의 조합은 WS 3880을 생산 및 연구 테스트에 이상적인 솔루션으로 만듭니다.