판매용 중고 RUDOLPH WS 3880 #293701811

루돌프 WS 3880 (RUDOLPH WS 3880) 은 와퍼 테스트 및 도량형 장비로, 정확도가 높은 광범위한 재료에 대한 정확한 크기를 측정하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 고해상도 광학 현미경 (optical microscopy), 통합 스타일러스 도량형 (integrated stylus metrology), 보다 복잡한 측정을위한 디지털 비디오 도량형 등 다양한 측정 솔루션을 제공합니다. 강력한 광 장치를 사용하여 RUDOLPH WS3880은 일관된 정확도로 서브 미크론 레벨 기능을 해결할 수 있습니다. 이 머신은 자동화된 이미지 획득, 측정, 분석을 제공하여 사용자가 고유한 측정 요구를 신속하게 충족시킬 수 있도록 합니다. 최대 30mm 두께의 얇은 웨이퍼 (thin wafer) 를 포함하여 다양한 샘플을 정확하게 측정 할 수있는 듀얼 스테이지 테이블 (dual stage table) 이 있습니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 원하는 측정값을 빠르고 쉽게 식별할 수 있는 도구를 손쉽게 사용자 정의, 구성, 운영할 수 있습니다. 이 자산에는 고해상도 이미징 모델이 장착되어 있는데, 여기에는 1x ~ 10x 배율 (16x) 의 현미경과 CCD 카메라 (옵션) 를 포함한 다양한 광학 부품이 포함됩니다. 이 구성 가능한 설정은 잘 제어된 이미징 장비를 통해 높은 수준의 이미지 해상도 (image resolution) 를 제공할 수 있습니다. CCD 카메라 (옵션) 를 사용하면 스틸 이미지 (Still Image) 와 비디오를 캡처할 수 있으며 고속 동작 또는 빠르게 변화하는 기능을 측정할 수도 있습니다. 이 시스템은 스타일러스, 광학 및 비디오 도량형을 포함한 다양한 도량형 옵션을 제공합니다. 스타일러스 도량형 (stylus metrology) 을 사용하면 반복 성과 해상도가 높은 0.1 um까지 미세한 측정을 수행 할 수 있습니다. 광학 도량형 장치 (Optical Metrology Unit) 는 최고 정확도 및 정밀 총 측정을위한 레이저 간섭계 (Laser interferometer) 와 가장 복잡한 기능을 측정하기위한 디지털 비디오 현미경을 사용합니다. 또한 컴퓨터의 표준 (standard) 기능 외에도, 옵션으로 제공되는 액세서리를 사용하여 사용자의 변화하는 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 여기에는 활성 진동 격리 및 PVD 힘 센서와 같은 추가 도량형 기능에 대한 다양한 센서 및 프로브 (Probe) 가 포함됩니다. 작업 관리자 (Job Manager) 와 같은 기능을 사용하면 반복 작업에 대한 사용자 정의 측정 계획을 개발하고 저장할 수 있습니다. 자동화된 단계 (automated stage) 보정을 통해 스테이지가 항상 적절하게 배치되어 안정적이고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. WS 3880 (WS 3880) 은 반도체 생산 및 연구 실험실에서 모니터링 및 도량형에 적합한 안정적이고 다양한 도구입니다. 높은 정확도, 반복 가능성 및 50 um 포인팅 정밀도는 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 이상적인 솔루션입니다.