판매용 중고 RUDOLPH WS 3840 #9392887

RUDOLPH WS 3840은 웨이퍼 기능에 대한 매우 민감한 분석을 위해 개발 된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 연구원들에 의해 가치가 있습니다. 뛰어난 정확성과 재현성은 광학 (optical) 과 엑스선 (X-ray) 기술의 조합을 기반으로합니다. 고급 광학 (optical) 및 엑스레이 (X-ray) 기술을 사용하여 두께, 선 너비, 모서리 선명도, 패턴 균일성 등 웨이퍼의 다양한 특성을 고해상도로 이미징 및 측정합니다. RUDOLPH WS3840은 도량형 모듈, 프롤러 플랫폼 및 소프트웨어 패키지로 구성됩니다. 도량형 모듈은 광학 현미경, SEM 장치, CCD (charge-coupled device) 검출기 및 스테이지 포지셔닝 장치와 같은 여러 구성 요소로 구성됩니다. 기계의 광학 모듈은 가시 광선 (visible light) 을 사용하여 높은 확대 범위 (최대 25,000X) 의 샘플을 관찰하고 웨이퍼 (wafer) 의 피쳐 컨투어와 위치를 측정합니다. 공구의 SEM 단위는 X 선 분석을 수행하며, 여기서 전자의 빔이 샘플로 보내져 면적의 이미지를 생성합니다. CCD 검출기는 광학 모듈 (optics module) 과 SEM 장치 (SEM unit) 에서 생성된 이미지의 정보를 캡처하여 웨이퍼 (wafer) 의 기능을 정량적으로 측정할 수 있습니다. 마지막으로, 프로버 플랫폼 (prober platform) 은 웨이퍼 전송 및 샘플 처리를 처리하여 도량형 모듈 (metrology module) 과 프로버 (prober) 사이에서 웨이퍼를 이동할 수 있도록 합니다. 자산의 소프트웨어 패키지를 사용하면 결과를 데이터 수집, 처리, 분석할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 웨이퍼 방향 및 유형의 자동 웨이퍼 정렬 (automated wafer alignment agnostic) 과 같은 기능을 제공하며, 단계 위치 정밀도 및 반복 기능을 개선했습니다. 이 기능은 장비의 여러 오류 확인 및 수정 기능으로 향상되어, 운영자 (operator) 에 의한 오류를 줄여줍니다. 다른 기능으로는 사용자 정의 가능한 데이터베이스 (customizable databasing) 기술을 들 수 있으며, 이를 통해 데이터의 사용자 지정 가능한 저장 및 결과의 장기간 보존이 가능합니다. 이 시스템은 또한 내장 안전 인터 록 (Safety Interlock) 및 방사선 차폐를 포함한 고급 산업 등급 안전 및 제어 기능을 제공합니다. 즉, 장치가 출하된 웨이퍼에 손상을 입히지 않으므로, 비용이 많이 드는 손실이나 손상을 방지할 수 있습니다. WS 3840 (WS 3840) 은 매우 정교한 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계로, 웨이퍼 기능의 특성화에 관한 고급 연구의 요구를 충족시키기 위해 특별히 설계되었습니다. 이 제품은 정확도, 안전성, 분석 측면에서 다양한 기능과 기능을 제공하며, 매우 민감한 웨이퍼 (wafer) 기능을 측정할 수 있는 안정적이고 다양한 툴입니다. 고해상도 광학 (optical) 과 X선 (X-ray) 기술을 하나의 도구로 결합함으로써 WS3840은 시간과 비용에 민감한 방식으로 안정적이고 정확한 결과를 제공할 수 있습니다.