판매용 중고 RUDOLPH WS 3840 #9198059

RUDOLPH WS 3840은 반도체 장치 제조, 공정 개발 및 공정 제어를 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 매우 정확한 테스트/프로세스 제어 (test/process control) 기능을 제공하며, 사용자가 웨이퍼 프로세스의 모든 측면을 효율적으로 검사하고 분석할 수 있습니다. 이 장치에는 고속, 줌 (zoom) 가능, 빠른 초점 동력 목표 및 현미경 및 데이터 획득을 지시하기위한 대화식 소프트웨어 패키지가 포함 된 고급, 컴퓨터 제어 현미경이 포함됩니다. 현미경의 고품질 광학 (optics of the microscope) 은 뛰어난 필드 균일성과 더 적은 가장자리 왜곡을 제공하여 샘플 특성을 가장 정확하게 분석 할 수 있습니다. 광학 디자인은 또한 혁신적인 4x5x10 mm, 0.08 "m 텔레센트릭 렌즈를 사용하여 전례없는 해상도와 정확성, 심지어 극도의 확대까지도 제공합니다. 이 기계는 고해상도 이미징, 자동 에지 감지, 통합 스펙트럼 이미징, 고정밀도 회절 이미징, 다양한 패턴 인식 알고리즘 등 다양한 자동 테스트 및 도량형 기술을 갖추고 있습니다. 이 도구에는 또한 초점 길이, 사진 크기, 위치, 조리개 크기, 초점 유형 등의 현미경 매개 변수를 자동으로 조정하고 선택할 수 있는 소프트웨어 모듈이 있습니다. 에셋은 wafer 검사, photolithography, etch, dry strip, wet strip, defect review 등 제조 프로세스의 다양한 단계를 자세히 분석하기 위해 플랫폼을 완전히 제어합니다. 이 모델은 또한 테스트 된 샘플을 신속하게 검사하는 몇 가지 방법 (예: 오버레이 도량형 및 다이 이미지 비닝, 임계 치수 도량형) 을 제공합니다. 이 장비는 작은 기능을 다룰 때도 나노 미터 (nanometer) 수준에서 정확한 측정을 제공하는 데 중점을 두며, 이를 측정하고 검사하는 데 어려움을 겪을 수 있습니다. 이 시스템은 0.2 ~ 0.5nm 해상도로 세부 사항을 해결하여 사용자가 매우 정확한 결과를 얻을 수 있도록 설계되었습니다. 또한, 이 장치의 소프트웨어는 빠르고 정확한 데이터 수집을 위해 설계되었으며, 최대 8 개의 웨이퍼를 동시에 테스트, 모니터링할 수 있습니다. 요약하면, RUDOLPH WS3840은 매우 다재다능하고 정확한 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계입니다. 이 도구는 강력한 현미경, 자동화된 테스트, 도량형 기술, 혁신적인 소프트웨어 (software) 기능을 통해 반도체 업계의 정확한 측정에 이상적인 선택입니다.