판매용 중고 RUDOLPH WS 2500 #9244849

RUDOLPH WS 2500
ID: 9244849
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2003
Wafer inspection system, 8" 2003 vintage.
RUDOLPH WS 2500은 석판화 (lithography) 및 이온 이식 (ion implantation) 과 같은 고급 웨이퍼 처리 응용 프로그램을 위해 특별히 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 웨이퍼 레벨에서 플랫 (flat) 및 커브 (curved) 기판에 대한 고급 샘플 검사 기능을 제공합니다. 이 시스템은 광범위한 웨이퍼 크기에 걸쳐 웨이퍼 두께, 너비, 높이, 서피스 거칠기의 균일성을 측정하는 데 특히 적합합니다. 사용자 친화적 광학 및 인체 공학적 디자인이 적용된 고정밀 광학 현미경 (high-precision optical microscope) 이 특징이며, 빠르고 안정적인 샘플 측면 및 높이 이미징이 가능합니다. 획득한 이미지를 처리하고 확실한 통과/실패 분석 보고서를 제공하는 데 고급 (advanced) 알고리즘이 사용됩니다. 이 장치는 매우 다재다능하며 유리, 석영, 심지어 구리 등 다양한 웨이퍼를 분석 할 수 있습니다. 얇은 웨이퍼, 직경 최대 180mm, 두께 65mm를 테스트 할 수 있습니다. 또한, 기계는 자동 레벨 (auto-leveling) 을 허용하여 연산자의 작업 표면이 아닌 경우에도 스테이지를 레벨 (level) 할 수 있습니다. 이 도구는 수동 및 자동 정렬을 모두 제공하며, 웨이퍼 및 샘플의 정렬 정확도를 보장하며, 에치 스톱 테스트, 샘플 비대칭 측정, 1/2 차원 균일성 및 필름 두께 테스트를 허용합니다. 또한, 웨이퍼의 곡률 반지름을 비 접촉 측정할 수 있습니다. 1 Angstrom의 높이감도 수준에서도 사용할 수 있습니다. 이 자산은 안정성과 견고성을 위해 설계되었습니다. 산업용 프레임 (Frame Construction) 은 견고하고 진동성이 뛰어납니다. 또한 최소한의 정렬 오류와 함께 매우 민감하고 정확하며, 효과적인 웨이퍼 (wafer) 추적성을 위해 일관된 테스트 데이터를 제공합니다. 사용자 인터페이스는 사용 편의성에 가장 주의를 기울여 설계되었습니다. 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 사용하면 테스트를 쉽고 빠르게 생성, 설정, 실행할 수 있습니다. 또한, 데이터 획득 및 분석 소프트웨어는 사용자에게 친숙한 형식으로 제공됩니다. WS 2500은 고급 웨이퍼 처리에 이상적인 뛰어난 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. 광범위한 기능, 다용도 (versility), 최고 수준의 정밀도 (top-notch precision) 를 갖추고 있어 높은 정확성과 신뢰성을 필요로 하는 모든 애플리케이션에 가장 적합한 솔루션입니다.
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