판매용 중고 RUDOLPH WS 2500 #9244848

RUDOLPH WS 2500은 반도체 장치의 정확하고 정확한 제어 및 측정을 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 시스템은 세 가지 주요 구성 요소 (측정 단위, 배치 기계 및 이미징 도구) 로 구성됩니다. 측정 자산에는 특허를받은 서보 제어 3 축 선형 동작 플랫폼이 장착되어 있으며, 해상도는 최대 0.002äm, 반복 성능은 최대 5õm입니다. 직경이 최대 8 "인 원형 기판을 포함하여 다양한 크기와 모양으로 웨이퍼 (wafer) 를 테스트 할 수 있습니다. 측정 모델은 Contact 또는 Non-Contact Scanning 기능과 함께 고속 데이터 입수를 제공합니다. 또한, 이 장비는 수동 및 자동 측정 기능을 모두 제공합니다. WS 2500의 포지셔닝 시스템에는 고해상도 비전 장치 (vision unit) 와 전동식 벨트 및 휠 머신이 포함됩니다. 시력 도구 (vision tool) 는 최대 0.5äm의 해상도로 웨이퍼의 위치를 정확하게 식별하고 추적 할 수 있습니다. 벨트 및 휠 에셋은 테스트 및 도량형 환경 내에서 웨이퍼의 정확한 움직임을 제공합니다. RUDOLPH WS 2500의 이미징 모델은 기본 시각적 이미징 및 고급 자동화 이미지를 모두 제공합니다. 기본 이미징 장비는 이미지 획득, 분석, 스토리지 시스템으로 구성됩니다. 고급 자동화 이미징 기능에는 미크론 레벨 검사, 시간 해결 이미징 및 3D 이미징 (모두 웨이퍼 표면에 대한 자세한 시각적 정보 제공) 이 포함됩니다. WS 2500은 반도체 장치의 측정 및 테스트를 위한 안정적이고 강력한 도구입니다. 설치, 유지 보수가 용이하며, 정확한 측정과 정확한 제어를 제공합니다. 고해상도 비전 유닛 (vision unit), 전동식 벨트 및 휠 머신 (wheel machine), 고급 자동화 이미징 기능을 갖춘 이 도구는 웨이퍼 테스트 및 도량형 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.