판매용 중고 RUDOLPH WS 2500 #9241214

RUDOLPH WS 2500
ID: 9241214
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2006
Wafer inspection system, 8" 2006 vintage.
RUDOLPH WS 2500은 마이크로 및 반도체 산업을 위해 설계된 고정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 집적 회로 (Integrated Circuit) 와 전력 전자 제품 (Power Electronics Application) 에 사용되는 다양한 웨이퍼 유형에 대한 세부적이고 정확한 테스트를 수행 할 수 있습니다. 이 시스템은 세 가지 주요 구성 요소 (웨이퍼 스테이지, 비전 유닛 및 컨트롤러) 로 구성됩니다. 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 는 테스트를 위해 웨이퍼를 배치하는 기계의 이동 가능한 플랫폼입니다. 고급 구조 (Advanced construction) 방법을 사용하면 모션 제어에서 높은 정확도를 확보하고 소형 폼 팩터에서 위치를 유지할 수 있습니다. 정밀 전동 슬라이드는 장비 간 통신을 위해 빠르고, 반복 가능하며, 정확한 XY 단계 이동을 보장합니다. 비전 머신은 웨이퍼 테스트에 필요한 이미지를 제공합니다. 광학적으로 정렬 된 자동 초점 카메라와 정밀 조명이 포함됩니다. 고급 신호 처리 알고리즘과 결합된 고해상도 광학 (High-resolution optics) 을 사용하면 서피스 프로파일, 모서리 카운트, 추적 너비 등과 같은 다양한 매개변수를 정확하게 측정할 수 있습니다. 이 비전 도구 (Vision Tool) 는 초당 최대 100만 프레임의 속도로 이미지를 얻어 빠른 처리 속도와 정확한 분석을 가능하게 합니다. 컨트롤러 장치 (Controller Unit) 는 자산의 두뇌로, 모든 데이터 획득 및 처리를 조정합니다. 멀티 코어 프로세서 아키텍처, 메모리, 디스크 스토리지 및 통신 인터페이스가 포함됩니다. 이를 통해 외부 장비와의 모델 작업 및 통신을 제어할 수 있습니다. 또한 레시피 작성, 자동화 제어, 다양한 유형의 장애 식별 (fault identification) 등 고급 프로세스 제어 기능을 사용할 수 있습니다. WS 2500은 다양한 유형의 웨이퍼를 테스트 및 도량형을위한 강력한 도구입니다. 첨단 설계를 통해 다양한 업계의 웨이퍼 (wafer) 를 정확하고, 반복 가능하며, 정확한 테스트 및 측정할 수 있습니다. 이 장비는 웨이퍼 스테이지 (Wafer Stage), 비전 시스템 (Vision System) 및 컨트롤러 장치 (Controller Unit) 를 갖추고 있어 장비 출력의 정확성을 보장하기 위해 사용할 수있는 정보 데이터의 추출을 가능하게 합니다.
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