판매용 중고 RUDOLPH WS 2500 #9036867

RUDOLPH WS 2500
ID: 9036867
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2002
Wafer inspection system, 8" 2002 vintage.
RUDOLPH WS 2500은 정확하고 안정적인 측정 기능을 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 자동 및 수동 작동이 가능한 잘 장착 된 기계입니다. 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI), 정밀 조작기 및 고성능 광학 현미경으로 구성됩니다. 이 기계는 강력한 광학 탐정 기능으로 설계되었으며, 다양한 센서에서 고해상도 (high resolution) 이미지를 얻을 수 있습니다. 고해상도 디스플레이, 정확한 촉각 피드백 컨트롤러, 조절 가능한 조작기 암이 특징입니다. 또한 WS 2500에는 여러 이미징 모드가 있어 와퍼 표면의 광각, 고해상도 이미지를 쉽고 빠르게 캡처할 수 있습니다. 이 장치는 작은 범위에서 표면 피쳐를 정확하게 측정하는 자동 광학 포지셔닝 머신 (optical positioning machine) 을 사용합니다. 이 차원 도량형 도구는 높은 해상도를 가지고 있으며, 마이크로 플래그 (micro-flag) 또는 구조물의 가장자리와 같은 매우 작은 특징을 감지 할 수 있습니다. 또한 자동 결함 감지 및 특성화가 특징입니다. 이 (가) 너무 작거나 너무 가까이 있는 결함을 감지하여 표준 방법으로 감지할 수 있습니다. RUDOLPH WS 2500에는 직관적으로 설계된 템플릿 기반 데이터 입력 에셋이 있습니다. 즉, 데이터를 입력하고 수정하기가 더 쉽습니다. 이 모델에는 자세한 결함 특성 데이터를 제공할 수 있는 자동 검사 리포트 (Inspection Report) 기능도 있습니다. 따라서 여러 웨이퍼에 걸친 결함 데이터를 빠르고 정확하게 비교하고, 프로세스 추세를 파악하고, 웨이퍼 (wafer) 수율 및 프로세스 최적화에 대한 정확한 결정을 내릴 수 있습니다. WS 2500은 결함 벡터 측정, 유전율 측정, 다이-투-웨이퍼 필름 (die-to-wafer) 필름 워페이지 측정 등 다양한 고정밀도 기능을 수행할 수 있는 다양한 자동 테스트 모듈을 제공합니다. 이 장비는 최신 산업 표준으로 조정되었으며, 국제 전기 및 광학 안전 (Electrical and Optical Safety) 표준을 준수합니다. 결론적으로, RUDOLPH WS 2500은 웨이퍼 테스트 및 도량형 응용 프로그램을위한 강력한 기능을 제공하는 고급 시스템입니다. 강력한 스캐닝 기술, 다중 이미징 모드 (multiple imaging mode), 자동화된 광 포지셔닝 장치 (optical positioning unit), 직관적인 템플릿 기반 데이터 입력 머신을 갖춘 이 머신은 웨이퍼 테스트 및 도량형 분야에서 귀중한 도구입니다. 이 도구는 빠르고 정확한 측정 방법을 제공하여 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 요건에 이상적인 솔루션입니다.
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