판매용 중고 RUDOLPH S3000 #9389593

RUDOLPH S3000
ID: 9389593
Thickness measurement system.
RUDOLPH S3000은 반도체 및 고급 포장 생산 라인에 사용하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 전자동 광학 및 X 선 기반 도량형 시스템을 사용하여 반도체 웨이퍼에 대한 정확하고 포괄적 인 분석을 제공합니다. S3000은 비파괴 광학 이미징 및 다양한 X- 선 프로빙 기술을 사용하여 입자/결함 밀도, 치수 및 재료 특성과 같은 다양한 매개 변수를 측정합니다. 자동 웨이퍼 테스트 기능에는 혁신적인 다이 코너 (die corner) 탐지 소프트웨어와 웨이퍼 전체의 재료 변형을 탐지 할 수있는 기능이 포함됩니다. 이 시스템에는 또한 고급 웨이퍼 매핑 (wafer mapping) 기능이 포함되어 있어 전체 웨이퍼 배치를 빠르고 정확하게 특성화할 수 있습니다. 또한 RUDOLPH S3000은 통합 품질 추적 및 보고 기능을 제공하여 빠르고 효율적인 프로세스 관리를 지원합니다. 이 장치에는 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 실시간으로 지속적으로 모니터링하고 분석하기 위해 광범위한 자동 통계 모델 기반 도구가 포함되어 있습니다. 이 고급 분석 기능 (Advanced Analytics Feature) 은 운영 라인의 개선과 향상을 빠르고 정확하게 파악하는 데 도움이 됩니다. S3000은 생산성을 고려하여 설계되었습니다. 빠른 웨이퍼 전송 및 분석이 가능한 고속, 대형 X-ray 이미징 머신을 사용합니다. 이 기능을 사용하면 단일 웨이퍼 (wafer) 에 여러 영역을 신속하게 재배치하고 감지할 수 있으며, 더 빠른 웨이퍼 (wafer) 처리량도 가능합니다. RUDOLPH S3000은 주로 대용량 반도체 생산 환경을 위해 설계되었습니다. SEMI E155 와 같은 안전 표준을 준수하며 SEMI CENTRA, OArCS, RPCPort 등 다양한 표준 호스트 인터페이스와 호환됩니다. 또한 다양한 Wafer 크기와 구성을 수용할 수 있는 다양한 인터페이스 (옵션) 및 액세서리 (옵션) 를 제공합니다. 전반적으로 S3000은 매우 정확하고 안정적인 테스트 및 도량형 자산입니다. 광범위한 자동 웨이퍼 테스트 (Automated Wafer Testing) 기능을 제공하여 운영 프로세스 전반에 걸쳐 일관성과 일관성을 보장합니다. 이 제품은 대용량 반도체 생산 라인에 사용하기에 적합하며, 생산성과 안전성을 염두에 두고 설계되었습니다.
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