판매용 중고 RUDOLPH / ONTO INNOVATION MP3-300XCU #9375220
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RUDOLPH/TO INNOVATION MP3-300XCU는 반도체 웨이퍼의 표면과 두께를 정확하게 특성화하도록 설계된 전문 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 고급 광학과 10 나노 미터 해상도를 갖춘 레이저 기반 도량형 시스템으로, 나노 미터 척도까지 정확하고 비 접촉 측정을 허용합니다. RUDOLPH MP3-300XCU에는 웨이퍼 표면의 맵과 유사한 이미지를 제공하는 독점 3D 도량형 알고리즘이 장착되어 있습니다. 자동 스캐닝 프로세스에는 전체 웨이퍼 표면을 덮는 다중 위치 XY 스캐닝 단계 (multi-position XY scanning stage) 와 마이크로 러프 (micro-roughness) 및 웨이퍼 두께를 감지하는 z축 단계 (Z축 stage) 가 포함됩니다. 이 장치의 레이저 기반 기술은 미크론 (Sub-micron) 피쳐의 미세 서피스 피쳐 감지, ithlinear 기능 측정, 다중 레벨 스텝 높이 측정, 높이 프로파일 측정 등의 독특한 이점을 제공합니다. ON INNOVATION MP3-300XCU 소프트웨어는 사용자 친화적이고 정교한 소프트웨어로, 다양한 분석/보고 옵션을 손쉽게 액세스할 수 있습니다. 직관적인 인터페이스를 통해 사용자는 측정 매개변수를 사용자 정의 가능한 방식으로 구성하고, 비교 또는 분석을 위해 저장된 화면 이미지 라이브러리 (Library of stored screen image for comparison or analysis) 에 액세스하고, 실시간 도량형 측정의 피드백을 기반으로 해당 설정을 신속하게 수정할 수 있습니다. 통합 추적 머신을 사용하면 도량형 처리 작업을 실시간으로 손쉽게 모니터링할 수 있습니다. MP3-300XCU 를 사용하면 다양한 이점을 얻을 수 있습니다. 이 도구는 웨이퍼를 특성화하는 데 보다 비용 효율적이고 시간이 덜 소요되는 접근 방식을 제공하며, 비접촉 (non-contact) 방식으로는 섬세한 웨이퍼 표면에 손상을 입을 위험이 없습니다. 고급 도량형 (Advanced metrology) 은 또한 웨이퍼의 미묘한 차이를 포착하고 분석하고, 수익률과 성능을 향상시켜 제품 품질을 향상시킵니다. 고급 3D 레이저 기반 도량형 기능을 갖춘 RUDOLPH/INTO INNOVATION MP3-300XCU는 반도체 웨이퍼를 정확하게 측정하기에 이상적인 자산입니다. 탁월한 광학 해상도, 사용자 친화적 소프트웨어, 종합적인 추적 기능으로 종합적인 웨이퍼 테스트 (Wafer Testing) 및 도량형 (Metrology) 을 위한 최적의 도구입니다.
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