판매용 중고 RUDOLPH MP3-300A #9401492

ID: 9401492
Film thickness measurement system, 12" 2012 vintage.
RUDOLPH MP3-300A는 고급 반도체 제조 공정에 사용하도록 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 임계 치수 (CD) 및 프로파일 (profile) 과 서피스 거칠기 (surface roughness), 서피스 지형 (surface topography) 및 결함 분류와 같은 다양한 다른 웨이퍼 매개변수를 포함하여 중요한 측정을 수행할 수 있습니다. 이 장치는 정확성과 반복성이 높은 직접 드라이브 (direct-drive) 단계와 정교한 광학 설정을 기반으로 합니다. 이렇게 하면 기계 가 "웨이퍼 '를 고도 의 정밀도 와 정확도 로 측정 하고 반복 할 수 있는 결과 를 얻을 수 있다. MP3-300A 는 고유한 4-way 패턴 인식 툴을 통해 결함을 빠르고 정확하게 감지하고 식별할 수 있습니다. 검사 과정의 이 중요한 단계는 와퍼 서피스 (wafer surfaces) 조건에 대한 중요한 데이터를 형성하는 광학 (optics) 과 조명 (lights) 의 통합 도구에 의해 지원됩니다. 그런 다음, 다른 시스템 및 프로세스와 공유하여 웨이퍼 (wafer) 상태를 추가로 파악할 수 있습니다. 자산은 또한 데이터 출력 및 분석 측면에서 포괄적입니다. 차트 작성, 그래픽 분석, 히스토그램, 추세 분석, 보고 등 다양한 옵션을 통해, 사용자가 고품질의 운영/운영을 보장하기 위해 필요한 모든 중요 데이터를 액세스할 수 있습니다. 이 모델은 또한 다양한 3D 표면 검사를 허용합니다. 이를 위해, 장비에는 전문 검사 헤드, 스테이지, 프로브 교정 (Probe Calibration) 을 포함한 많은 액세서리 모음이 포함되어 있어 웨이퍼 (Wafer) 의 전반적인 상태에 대한 철저하고 정확한 평가를 제공 할 수 있습니다. 또한 RUDOLPH MP3-300A의 대형 터치 스크린 모니터를 사용하면 쉽고 직관적인 작업을 할 수 있습니다. 이를 통해 최소한의 노력과 입력 (input) 을 통해 설치를 완료할 수 있으며, 이를 통해 빠르고 정확한 웨이퍼 테스트가 가능합니다. 또한, 이 시스템은 운영 및 처리량 측면에서 유연성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 작업은 전용 "작업 선택기 (job selector)" 작업을 통해 수행되며, 이 작업은 반복 가능한 실행을 자동화하여 효율성을 극대화합니다. 간단히 말해, MP3-300A (High-End Wafer Testing Machine) 는 높은 정밀도와 정확도로 다양한 매개변수를 측정하도록 설계된 고급 웨이퍼 테스트 머신입니다. 이 도구를 통해 결함을 빠르고 정확하게 파악할 수 있으며, 정교한 3D 표면 검사 및 결과 분석을 가능하게 합니다. 또한, 에셋은 설치 및 운영을 지원하는 다양한 기능을 제공하여 고품질 (High-Quality) 출력과 최대 처리량을 보장합니다.
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