판매용 중고 RUDOLPH MP1-300 #9401099

ID: 9401099
Film thickness measurement system.
RUDOLPH MP1-300은 최고 해상도의 고급 기능 분석을 제공하기 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 고급 시스템은 마이크로 포지셔닝 단계 (micro-positioning stage), 고해상도 광학 현미경 (optical microscope) 및 다양한 통합 측정 옵션을 사용하여 웨이퍼 기판에서 작은 기능을 측정합니다. MP1-300은 최대 15 미터 이동 범위, 서브 미크론 스테이지 해상도 및 통합 XYZ 전동 스캔 테이블이 가능한 유연한 마이크로 포지셔닝 단계를 갖추고 있습니다. 이 정확한 스테이지 포지셔닝 장치 (stage positioning unit) 는 예제의 개별 영역을 현미경으로 정확하게 배치하는 한편, 반복성이 보장되는 정확한 측정을 가능하게 합니다. RUDOLPH MP1-300은 또한 서브 미크론 해상도의 고해상도 광학 현미경을 제공합니다. 이 고급 현미경은 웨이퍼 기판에서 마이크로 구조를 빠르고 정확하게 측정 할 수 있습니다. 또한 MP1-300 내의 디지털 이미지 자동화 (digital image automation) 는 디지털 장면 분석 알고리즘을 사용하여 광범위한 측정 옵션에 액세스할 수 있습니다. 이러한 알고리즘은 웨이퍼 패턴, 프로세스 결함 및 기타 미세 구조에 대한 자동 분석을 제공하며, 샘플 기판의 다양한 레이어를 지속적으로 모니터링합니다. 또한 RUDOLPH MP1-300은 고속 데이터 획득, 그래픽 사용자 인터페이스 및 측정 시퀀싱을 갖추고 있습니다. 데이터 입수 (Data acquisition) 는 광학 현미경에서 샘플링된 데이터를 캡처하는 데 사용되므로 측정 및 추세를 신속하게 확인할 수 있습니다. 또한, 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 는 기능을 신속하게 탐색할 수 있는 직관적인 사용자 환경을 제공합니다. 측정 시퀀싱을 사용하면 기계가 자동으로 샘플 (sample) 영역에서 샘플 (sample) 영역으로 이동하여 측정의 속도와 정확도를 높일 수 있습니다. 전반적으로 MP1-300은 웨이퍼 테스트 및 도량형 요구에 적합한 도구입니다. 뛰어난 측정 기능을 제공하며, 다양한 측정에 대한 정확성, 정확성, 반복성을 제공합니다. 또한, 이 자산의 신속한 데이터 획득은 연구/운영 애플리케이션의 복잡한 기능 집합을 분석하는 데 이상적입니다.
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