판매용 중고 RUDOLPH Metapulse #9157665
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루돌프 메타 펄스 (RUDOLPH Metapulse) 는 생산 과정에서 웨이퍼의 성능과 품질을 모니터링하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 서피스 거칠기, 선형성, 웨이퍼 두께, 에치 속도, 피치 및 위치 정확도, 패턴 정확도, 임계 치수, 서피스 지형, 원자 밀도, 표면 오염 등 다양한 특성을 측정 할 수 있습니다. 이 시스템은 에너지 분산 X- 선 분광사진법, 스캐닝 전자 현미경, 광열 영상, 레이저 간섭법, 이온 빔 이미징, 임계 치수 스캐닝 전자 현미경 및 nano-SEM을 포함한 다양한 물리적 및 전기 측정 및 계기를 사용합니다. 이러한 도구를 사용하여 RUDOLPH META PULSE는 웨이퍼 구조의 매우 상세한 이미지를 제공하고 검사를 1 나노 미터 이상의 정확도로 감지합니다. 이 장치는 또한 여러 가지 고급 기능 (advanced features) 을 통해 운영자가 결함을 신속하게 진단하고 최종 제품에 영향을 미치기 전에 프로세스 매개변수를 조정할 수 있습니다. 여기에는 이미지 향상, 자동화 규칙, 실시간 피크/밸리 감지 및 윤곽선 분석을 제공하는 고급 결함 감지 스위트가 포함됩니다. 또한, 사용자는 표면 분석, 다이 레벨 도량형, 레이어 분석, 패키지 매핑, 스트레스 및 변형 측정과 같은 다양한 응용 프로그램에 대한 컨텍스트별 도구를 신속하게 사용할 수 있습니다. 메타 펄스 머신 (Metapulse machine) 은 마이크로 일렉트로닉스, 태양 광 공학, 마이크로 기계 및 의료 장치 제조를 포함한 다양한 산업에 적합한 고급 기능을 갖춘 종합적이고 정밀한 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 비공개 (non-disclosure) 정책에 의해 보호되는이 자산은 연구 개발 (Research and Development) 에 사용되어 최고 품질의 제품이 가장 효율적인 방식으로 제공되도록 할 수도 있습니다.
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