판매용 중고 RUDOLPH MetaPulse-III 300XCu #9396294

ID: 9396294
빈티지: 2010
Thickness measurement system 2010 vintage.
RUDOLPH MetaPulse-III 300XCu는 사용자가 평면 및 3D 응용 프로그램에서 정확한 측정을 제공하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 285mm (12 ") 및 300mm (12") 웨이퍼와 함께 사용하도록 특별히 설계되었으며, 최대 18 "직경의 웨이퍼 크기에 걸쳐 측정을 수행 할 수 있습니다. RUDOLPH METAPULSE III 300XCU의 주요 구성 요소는, 테스트하기 위해 단일 웨이퍼에 근접하여 이동할 수있는, 수송 가능한 정밀 선형 모터입니다. 이 모터는 Stress, Driedfilm Thickness, Warp 또는 Resistivity와 같은 다양한 매개변수의 웨이퍼를 테스트하면서 최적의 동작 정확도와 속도 안정성을 제공합니다. 또한, 이 장치는 전자 장치의 실시간 3D 및 평면 도량형을 수행 할 수 있습니다. METAPULSE III 300 XCU는 독점적 인 미세 스테핑 메커니즘이있는 진공 척 (vacuum chuck) 을 특징으로하여 테스트를위한 단일 웨이퍼를 정확하게 배치 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 4 점 프로브 (4-point Probe) 및 타원계 (Ellipsometer) 와 같은 다양한 유형의 측정을위한 다양한 공구 헤드를 수용 할 수 있습니다. RUDOLPH METAPULSE III 300 XCU는 테스트 된 웨이퍼의 고해상도 이미지를 캡처하기 위해 내장 2 메가 픽셀 광학 이미징 도구를 사용합니다. 이 자산은 또한 실시간, 전체 및 부분 범위 비 선형성 수정, 평균 가치 기반 데이터 처리가 가능합니다. METAPULSE III 300XCU는 1GB RAM 장착 2.4GHz Pentium 프로세서와 내부 320GB 하드 드라이브에서 실행되며, 사용자는 유사한 도량형 시스템에 비해 훨씬 향상된 성능을 제공합니다. 또한이 모델은 Windows XP, 7 및 8.1을 포함한 여러 소프트웨어 플랫폼과 호환됩니다. 장비가 안정적이고 정확한지 확인하기 위해 RUDOLPH는 진동 방지 설계, 듀얼 팬 냉각, 진공 클램핑 시스템 (vacuum clamping system) 과 같은 몇 가지 독특한 기능을 통합했습니다. 또한, 이 장치에는 더 나은 정밀도와 정확성을 위해 고출력 레이저가 포함되어 있습니다. 전반적으로 MetaPulse-III 300XCu는 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계로, 사용자에게 탁월한 속도와 정확성을 제공하는 정확한 결과를 제공합니다. 이동성이 뛰어난 정밀 선형 모터 (Linear Motor) 와 다양한 기능을 갖춘 이 도구는 모든 유형의 웨이퍼 테스트 (Wafer Testing) 및 도량형 응용 프로그램에 적합합니다.
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