판매용 중고 RUDOLPH MetaPulse-III 300XCu #293625425
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ID: 293625425
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2013
Thickness measurement system, 12"
Process: Metrology
2013 vintage.
RUDOLPTH RUDOLPH MetaPulse-III 300XCu 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 반도체 웨이퍼의 특성 및 검사를 돕기 위해 고도의 자동 도구입니다. 스캐닝 기능이 향상되고 정밀도가 높은 300mm 대형 웨이퍼 플랫폼이 있습니다. 고유 한 다단계 접근 방식은 웨이퍼 매개변수 및 특성에 대한 포괄적인 개요를 제공하며, 구성, 결정성, 패턴 밀도, 서피스 매끄러움과 같은 모든 관련 매개변수를 분석합니다. 이 시스템은 웨이퍼에 대한 자세한 물리적 분석을 수행하기 전에 저항성 (resistance) 과 전압 (voltage) 과 같은 전기적 특성을 먼저 측정하여 작동합니다. 그 후, 도구는 웨이퍼의 두께, 평면도 및 기타 특성을 결정할 수 있습니다. 재료의 동질성 (homogeneity) 과 같은 자세한 내용은 장치의 고급 광학 (advanced optics) 을 사용하여 확인할 수 있습니다. 또한, 이 기술은 결함의 잠재적 발생 영역과 물질 특성 (material properties) 의 변형 (variations) 의 영역을 식별 할 수 있습니다. 스캔 당 최대 8 개의 샘플의 스캔 속도를 달성하여 반도체 웨이퍼 (wafer) 특성화의 빠른 프로세스를 허용합니다. 또한, RUDOLPH METAPULSE III 300XCU 기계는 최소 해상도 0.2m로 하위 미크론 정밀도로 웨이퍼를 측정 할 수 있습니다. 이 도구는 작동하기도 쉽습니다. 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface, GUI) 를 사용하면 에셋을 빠르고 효율적으로 제어할 수 있으며, 모델에서 제공하는 결과를 검토하고 분석할 수 있습니다. 또한 최첨단 기술을 통해 다양한 자동 분석 (Automated Analysis) 또는 수동 분석 (Manual Analysis) 기술을 선택할 수 있습니다. RUDOLPTH METAPULSE III 300 XCU는 속도와 정확성 외에도 뛰어난 연결성을 제공합니다. 이 장비는 여러 소프트웨어 플랫폼과 호환되며, 데이터 내보내기 (export) 및 비교 (compison) 를 쉽고 효과적으로 수행할 수 있습니다. 또한 자동화된 테스트 프로세스를 원격 운영, 모니터링, 제어할 수 있습니다. RUDOLPTH MetaPulse-III 300XCu 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치는 반도체 웨이퍼를 식별하고 특성화하는 데 이상적인 포괄적인 기능 세트를 제공합니다. "컴퓨터 '의 속도 와 정확성 과 결합 된 고도 의 자동" 피쳐' 는 뛰어난 결과 를 보장 해 준다. 이 툴은 사용하기 쉬운 GUI 및 탁월한 연결성을 제공하여, 짧은 시간 안에 안정적인 데이터를 쉽게 액세스할 수 있습니다.
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