판매용 중고 RUDOLPH MetaPulse 300 #9365999
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ID: 9365999
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
Thickness measurement system, 12"
With dual FOUP load ports
Open cassettes for handling, 8"-12"
Dual front opening unified pod loaders: 13/15 Slots for handling, 12"
Ultrafast laser output: 300 mW at 800 nm
Diode pump power: 2 W
Laser light source damaged
Missing parts:
Mainframe
EFEM Module
Chiller and inverter
2007 vintage.
RUDOLPH MetaPulse 300은 반도체 제조 공정 전후에 빠르고 정확한 웨이퍼 측정을 제공하기 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 플랫폼입니다. 이 장비 에는 "웨이퍼 '유전체, 금속 및 기타 재료 의 전기적 특성 을 정확 하게 측정 하고 분석 할 수 있는 여러 가지 고급 기능 과 기술 들 이 있다. 그렇다. 메타 펄스 300 (MetaPulse 300) 은 3 개의 시간 영역 반사계 채널을 사용하여 재료 특성을 측정하고 웨이퍼 자체의 무결성을 테스트합니다. 이 시스템은 이러한 채널을 고급 펄스 너비 변조 (advanced pulse width modulation) 기술과 결합하여 최대 8400 MHz의 재료를 정확하게 분석하고 측정합니다. 더욱이, 이 단위는 저항력, 커패시턴스, 임피던스, 재료의 유전력 등 광범위한 매개변수를 측정하고 식별 할 수 있습니다. 시스템의 사용자 제어 및 인터페이스는 사용자 친화적이며 이해하기 쉽도록 설계되었습니다. 대형 컬러 터치스크린 디스플레이는 그래프 (Graphs), 테스트 데이터 (Test Data) 및 기타 실시간 시각화 형식으로 소중한 피드백을 제공하면서 테스트와 측정을 안내합니다. 또한, 이 도구는 기존 테스트 및 도량형 장비 (예: 스테이션 제어 시스템) 와 빠르고 원활하게 통합되어 테스트 설정을 부드럽고 효율적으로 자동화할 수 있습니다. RUDOLPH MetaPulse 300은 또한 다양한 테스트 조건과 온도 범위 (-40 ° C ~ 150 ° C) 를 지원하므로 고온 응용 분야에 사용할 수 있습니다. 또한, 자산은 광범위한 전압 수준과 주파수 (최대 500 MHz) 를 감지하고 측정하며, 우수한 소음 감소 기능을 제공하여 높은 정확도 테스트를 지원할 수 있습니다. 이 플랫폼은 또한 반복 가능하고 안정적인 결과를 보장하도록 설계된 임베디드 (Embedded) 품질 보증 기능을 갖춘 강력한 테스트 베드 (Test Bed) 환경을 갖추고 있습니다. 전반적으로, MetaPulse 300은 반도체 재료의 전기 특성에 대한 강력한 통찰력을 제공 할 수있는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. 다중 채널 반사계 (Multiple Channel reflectometry) 와 독립 테스트 플랫폼 (Independent Test Platform) 을 통해, 이 장비는 매우 광범위한 재료 매개변수를 정확하게 측정할 수 있으므로 모든 생산 환경에서 귀중한 도구가 됩니다.
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