판매용 중고 RUDOLPH MetaPulse 300 #9229638

RUDOLPH MetaPulse 300
ID: 9229638
웨이퍼 크기: 12"
Film thickness measurement system, 12".
RUDOLPH MetaPulse 300은 반도체 제작을 위해 특별히 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 2 인치에서 8 인치 사이의 다양한 반도체 웨이퍼 크기를 테스트 할 수 있으며, 웨이퍼 표면을 자동으로 3 차원 스캔합니다. 루돌프 테크놀로지스 (RUDOLPH Technologies) 가 처음 개발한 AMI (Acoustic Micro Imaging) 이미징 칩은 장치 내에 장착되어 종합적인 분석을 가능하게 하는 최고 해상도의 단면적 이미징을 제공합니다. 기계는 공백, 범프, 균열, 범프, 디어 미네이션 및 기타 웨이퍼의 토폴로지 기능을 감지 할 수 있습니다. MetaPulse 300은 정확하고 효율적인 기능을 위해 독특한 4축 동작 도구를 사용합니다. 웨이퍼의 다방향, 동시 이동 및 X-Y-Z 작업 포지셔닝 에셋의 조합으로, 표본의 전체 검사 영역을 따라 빠르게 움직일 수 있습니다. 또한, 모델의 속도 제어 (Speed Control) 기능은 갑작스런 동작을 줄여 샘플을 손상시킬 수 있습니다. 또한, 장비에는 200 ~ 500 미크론의 가변 레이저 빔 스팟 크기가 장착되어 있으며 940 nm 레이저 다이오드로 구동됩니다. 이 조절 가능한 스팟 크기를 사용하면 더 정확한 제어가 가능하고 레이저 다이오드 (laser diode) 는 최적의 레이저 성능을 제공합니다. 또한, 전기 광학 발전기 (Electro-Optical Generator) 는 즉각적인 4 채널 신호 생성 및 전체 주파수 범위에 대한 동적 이득 제어에 사용됩니다. 이 발전기는 또한 정확도를 향상시키기 위해 여러 채널을 추가 할 수있는 유연성을 가지고 있습니다. 이 시스템에는 운영 업체 안전 향상을 위해 스테인리스 스틸 인클로저도 장착되어 있습니다. 마지막으로, 이 장치는 인체 공학적 설계로 작동하기 쉽습니다. 이 기계 는 또한 "웨이퍼 '생산 에 흔히 있는 충격, 진동 및 기타 환경 상 의 위험 에도 강하다. 이러한 견고한 구성을 통해 오랜 운영 시간 동안에도 안정적이고 정확한 데이터 출력을 보장할 수 있습니다. RUDOLPH MetaPulse 300은 다양한 작업을 정확하게 처리 할 수있는 다목적 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 이 제품은 도량형 (metrology) 프로세스를 보다 정확하고 효율적으로 하기 위해 필요한 모든 기능과 기능을 갖추고 있습니다. 탁월한 스캔 기능, 견고한 구성, 효율적인 설계를 갖춘 MetaPulse 300은 반도체 제작에 이상적인 솔루션입니다.
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