판매용 중고 RUDOLPH MetaPulse 200 #9300362

RUDOLPH MetaPulse 200은 반도체 제조에서 정밀 리소그래피 처리를 위해 특별히 설계된 현대적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 고급 고성능 컴포넌트에 필요한 정밀도가 높은 치수 측정값과 웨이퍼 서피스 (wafer surface) 의 작은 피쳐를 측정하는 기능을 제공합니다. RUDOLPH META PULSE 200의 핵심 기술은 일련의 카메라와 특수 설계 암에 장착 된 반사체로 구성됩니다. 이 "암 '에는" 웨이퍼' 의 빠른 표본 을 위한 격자 가 들어 있고 "카메라 '는" 테스트' 표본 을 자동 정렬 할 수 있다. 또한 이 격자선을 사용하면 MetaPulse 200에서 웨이퍼 서피스의 피쳐 크기, 위치 및 모양을 측정할 수 있습니다. 반사체는 웨이퍼에서 산란 된 빛을 포착하고 CMOS 이미징 센서와 결합하여 서브 미크론 정밀도 (sub-micron precision) 로 정확한 치수 측정을 제공합니다. META PULSE 200은 웨이퍼 표면의 효과적이고, 빠르고, 정확한 기능 측정을 가능하게합니다. 라인/스페이스, 브리지/게이트, 구멍 영역 경유, 트렌치 단계 등의 특수 기능을 포함합니다. RUDOLPH MetaPulse 200은 또한 실리콘, low-k 및 high-k 유전체, 미세 및 두꺼운 필름 유전체, 구리, 금 및 티타늄, 저온 정책-실리콘으로 만든 웨이퍼를 포함하여 측정에 호환되는 다양한 샘플 유형을 제공합니다. RUDOLPH META PULSE 200은 워퍼 프론트 엔드에서 생산성을 높일 수있는 고도로 자동화 된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치입니다. 고급 컴퓨터 비전 (computer vision) 알고리즘과 동작 제어 해상도 (motion control resolution) 를 통해 웨이퍼 서피스의 피쳐의 크기와 모양을 정확하게 측정할 수 있습니다. 또한, MetaPulse 200에는 테스트 결과를 해석하고 분석 할 수있는 고급 데이터 분석 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 즉, 생성된 구성 요소가 지정된 수익률 및 성능 요구 사항을 충족하는 한편, 사용자에게 실시간 피드백을 제공합니다. 메타 펄스 200 (META PULSE 200) 은 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계로 사용자가 고성능 및 고출력 구성 요소를 생산할 수 있도록 도와줍니다. 또한 Su-micron 정확도, 다양한 샘플 유형, 고급 컴퓨터 비전 (Computer Vision) 및 모션 제어 기능을 제공하며, 신뢰할 수 있는 실시간 테스트 결과를 제공합니다.