판매용 중고 RUDOLPH MetaPulse 200 #9262862
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RUDOLPH MetaPulse 200은 다중 사이트 응용 프로그램에 이상적인 전체 기능의 웨이퍼 테스트 및 도량형 솔루션입니다. 이 도구는 '3D' 도량형 장비를 사용하여 최적의 도량형 결과를 보장하기 위해 웨이퍼 (wafer) 표면의 여러 레벨에 있는 복잡한 특성을 측정합니다. 여러 레이어 웨이퍼의 크기, 두께, 모양 및 위치를 측정 할 수 있습니다. 이 시스템은 웨이퍼 레벨 CMP, 리소그래피, 도핑, 에칭, 패턴화 등 다양한 응용 프로그램을 테스트하는 프로세스를 자동화합니다. 자동 테스트 (Automated Test) 를 통해 도량형 (Metrology Unit) 은 신속하고 안정적이며 반복 가능한 결과를 제공할 수 있으므로 제품을 실시간으로 더 잘 이해할 수 있습니다. 루돌프 메타 펄스 200 (RUDOLPH META PULSE 200) 은 평면 내 회전 단계를 갖추고 있으며, 기기의 레이저 광학과 관련하여 기판 표면을 완전히 회전시켜 측정 정확도를 최적화 할 수 있습니다. 이를 통해 각 기판의 도량형 결과를 기판 크기에 관계없이 비교할 수 있습니다. 이 기계는 또한 특정 크기 (dimensions) 와 애플리케이션 (application) 의 다양한 요구 사항을 고객의 편의를 위해 설계되었습니다. 처리 단계, 환경 조건, 스캔 정확도와 같은 여러 매개 변수를 최적화하여 고객 만족도를 높일 수 있습니다. 또한, MetaPulse 200은 더 높은 해상도와 넓은 시야를 제공하며, 이는 전체 웨이퍼 (full wafer) 및 빠른 제품 검사를 위한 3D 스캔에 이상적입니다. 소형 장치 (compact unit) 설계를 통해 하나의 엔진에 여러 시스템을 구성하여 설치 공간과 비용을 절감할 수 있습니다. 메타 펄스 200 (META PULSE 200) 은 사용자 친화적인 최적의 워크플로우를 제공하며, 다양한 측정 작업을 빠르고 정확하게 완료할 수 있도록 직관적인 GUI를 포함합니다. 결국, RUDOLPH MetaPulse 200은 우수한 웨이퍼 테스트 및 도량형 솔루션으로, 고객이 제품을 테스트, 검사, 측정하여 최상의 품질의 결과를 얻을 수 있도록 합니다. 자동화된 테스트를 통해 시간과 비용을 절감하고, 한 대의 머신에서 전체, 정확한 3D 분석을 제공합니다.
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