판매용 중고 RUDOLPH MetaPulse 200 #293813130

RUDOLPH MetaPulse 200은 루돌프 테크놀로지스 (RUDOLPH Technologies) 가 반도체 및 전자 부품 테스트에서 더 높은 처리량과 향상된 정확성을 위해 설계 한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 실리콘 칩 (silicon chip) 및 기타 반도체 재료를 포함한 다양한 기판에서 테스트하기 위해 고속 스캐닝 헤드 (scanning head) 를 갖추고 있습니다. 또한 이미징, CD (critical dimension) 측정 및 결함 감지를 포함한 고급 도량형 기능도 제공합니다. RUDOLPH META PULSE 200은 매우 정확한 빔 스티어링 서브 시스템을 사용하여 나노 스케일 (nanoscale) 기능과 결함을 빠른 속도와 정확도로 정확하게 측정합니다. 이것은 독특한 적응 광학 장치 (adaptive optics unit) 를 통해 기판에 빔을 정렬 한 다음 곡선 반사기 (curved reflector) 와 렌즈 (lenses) 를 통해 빔 포커스 (beam focus) 또는 영향 영역을 제어함으로써 달성됩니다. 또한, 기계의 적응 광학 도구를 사용하면 빔 (beam) 에 영향을 줄 수있는 온도, 습도 및 기타 변수의 변화를 자동으로 보상 할 수 있습니다. 에셋에는 여러 가지 특수 프로브 헤드 (반자동 웨이퍼 프로브 또는 수동 테스트를 위해 맞춤형) 가 포함되어 있습니다. 이러한 Probe 헤드는 까다로운 환경에서도 정확하고 안정적인 결과를 얻을 수 있도록 설계되었습니다. 300mm 이중 헤드 프로브는 압전 단계를 사용하여 나노 미터 정확도 내에서 프로브를 수행합니다. 200mm 싱글 헤드 프로브 (Single-Head Probe) 는 매우 정확한 발산/볼록한 광경로로 정확도를 높이고 비 평면 웨이퍼 측정에 이상적입니다. 루돌프 (RUDOLPH) 내장 결함 탐지 알고리즘은 저소음 CCD 카메라에 연결되어, 가장 복잡한 지형에서 높은 스캔 속도로 결함을 신속하게 탐지 할 수 있습니다. HD OLED 터치스크린 인터페이스는 검사 프로세스를 실시간으로 시각화 (Visualization) 하며, 특정 어플리케이션 요구에 맞게 모델을 사용자 정의할 수 있습니다. 메타펄스 200 (MetaPulse 200) 은 또한 업계에서 가장 엄격한 안전 요구 사항을 준수하며, 다양한 수준의 사용자 인증 및 암호화, 그리고 수많은 안전 기능을 제공합니다. 또한 다양한 진단 기능과 오류 추적이 포함되어 있어 운영 안정성을 보장합니다. 이 장비는 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 완벽한 원격 관리 기능을 통해 기존 네트워크에 손쉽게 통합할 수 있습니다. 전체적으로, META PULSE 200은 고급 도량형 기능과 비교할 수없는 속도 및 정확도를 결합하여 현대 반도체 제조 시설에 이상적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다.