판매용 중고 RUDOLPH MetaPulse 200 #293664997

RUDOLPH MetaPulse 200
ID: 293664997
빈티지: 2005
Film thickness measurement system 2005 vintage.
RUDOLPH MetaPulse 200은 다양한 기판 및 도량형 재료를 처리하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 매우 정밀한 스캐닝 (scanning) 및 이미징 (Imaging) 기술을 갖추고 있어 프로세스의 특정 요구 사항을 충족하도록 조정할 수 있습니다. RUDOLPH META PULSE 200은 정확한 패턴 및 테스트 기능을 제공하여 다양한 응용 프로그램에 대한 수많은 웨이퍼 (wafer) 자료를 분석 할 수 있습니다. MetaPulse 200에는 고해상도 스테퍼와 간섭계가 장착 된 통합 웨이퍼 레벨 도량형 장치가 있습니다. 최대 8 인치 크기의 웨이퍼 표면을 스캔 할 수 있으며, 1 미크론만큼 작은 치수를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 스테퍼는 X 축, Y 축, X 축, Y 축에서의 속도와 위치를 제어하여 사용자 정의 패턴 및 정렬 프로세스를 허용합니다. 또한, 기계의 간섭계는 표면 마무리 품질을 평가하기 위해 표면 지형의 정확한 측정을 제공합니다. 메타 펄스 200 (META PULSE 200) 은 수작업을 최소화하면서 정확한 데이터를 수집할 수 있는 자동화된 측정 툴을 갖추고 있습니다. 광학 삼각 측량 및 초점 영상을 통해 비접촉 웨이퍼 도량형을 수행 할 수 있습니다. 자동 정렬 모듈 (automated alignment module) 과 소프트웨어를 통해 간섭계를 웨이퍼 서피스에 정확하게 정렬할 수 있습니다. RUDOLPH MetaPulse 200은 여러 테스트 및 도량형 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. wafer patterning, surface roughness, size and shape, geometry measures 등의 다양한 테스트를 수행할 수 있습니다. 또한, 이 자산은 빠르고 정밀한 데이터 획득/조작 기능을 제공하여, 테스트 결과를 신속하게 분석, 해석하여 운영 및 품질 관리 능력을 향상시킵니다. RUDOLPH META PULSE 200은 대규모 기판 테스트에 적합한 안정적이고 다양한 도구입니다. 이 모델은 정밀도 (precision measurements) 외에도 안전하고 효율적인 작업 환경을 제공하도록 설계되었습니다. 재순환 에어컨 장비 (re-circulation air-conditioning equipment) 를 장착하여 챔버 내 온도 및 습도 수준을 일정하게 유지하여 최적의 성능을 제공합니다. 통합 소프트웨어는 도량형 데이터를 모니터링, 분석, 기록, 저장하며, 사용자는 상세한 처리 및 품질 보고서에 액세스할 수 있습니다.
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