판매용 중고 RUDOLPH FE VII/IV #9412377

RUDOLPH FE VII/IV
ID: 9412377
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2002
Thickness measurement system, 8" 2002 vintage.
RUDOLPH Fe VII/IV Wafer Testing and Metrology 장비는 실리콘 웨이퍼 제조를 위해 반도체 산업에 사용되는 매우 정확하고 정확한 테스트 장치입니다. 이 검사 및 도량형 솔루션은 자동화된 웨이퍼 테스트 및 진단을 용이하게 합니다. 이 제품은 웨이퍼 (Wafer) 에서 장애 조건을 감지하고, 성능을 평가하며, 전반적인 운영 프로세스를 개선하기 위한 품질 관리 (Quality Control) 데이터를 제공하도록 설계되었습니다. 빠른 주기 시간 (2ms) 으로, 시스템은 높은 수준의 정확도로 반복 가능하고 반복 가능한 측정을 달성 할 수 있습니다. RUDOLPH Fe VII/IV는 방향 매핑 (directional mapping) 을 제공하며, 이를 통해 사용자는 웨이퍼의 표면 프로파일을 얻을 수 있고, 몇 점에서 전체 두께를 계산할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 필름 두께를 10nm까지 측정 할 수 있으며, 이는 저소음 웨이퍼에 매우 유리합니다. 이 기계는 다이 스탬핑 (die stamping) 에서 라인 너비, 레이어 두께, 도금 및 계기에 이르기까지 다양한 유형의 테스트 항목을 평가할 수 있습니다. 또한이 도구에는 비 접촉 평가를위한 고급 피쳐 인식 알고리즘과 알고리즘이 있습니다. RUDOLPH Fe VII/IV는 모듈 식 장치이며, 사용자 요구 사항에 따라 수많은 옵션을 자산에 통합 할 수 있습니다. 이러한 옵션에는 CD/OCD 측정 추가 기능, 스트레스 측정 소프트웨어 및 Cathodoluminescence 추가 기능이 포함됩니다. RUDOLPH Fe VII/IV는 LIS, SECS-II 및 GEM과 같은 데이터 처리 시스템에 연결할 수 있습니다. 이 모델은 또한 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 대화형 제어 기능을 제공하며, 사용자가 장비를 탐색할 수 있도록 도와줍니다. 결론적으로, RUDOLPH Fe VII/IV는 실리콘 웨이퍼의 성공적인 제작에 필수적인 신뢰할 수 있고, 사용자 친화적이며, 강력한 시스템입니다. 기능 인식 (Feature Recognition), 프로세스 평가 자동화 (Automated Process Evaluation) 와 같은 다양한 기능과 정확한 측정이 가능하므로 웨이퍼 테스트 (Wafer Testing) 및 도량형에 적합한 툴이 될 수 있습니다.
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