판매용 중고 RUDOLPH AVP / Autopol V Polarimeter #9164947
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ID: 9164947
빈티지: 2006
Polarimeter
(6) Wavelength
365, 405, 436, 546, 633nm
Temptrol electronic heating and cooling: 15-30C
A700T Temptrol NIST traceable quartz
Calibration report
40T-2.5-50-0.35 Polarimeter stainless cell
Luer fitting made of delrin
ID: 2.5mm
Optical pathlength: 50mm
Volume: 0.35mm
(2) A20852 Temperature validation cells
Center fill polarimeter: 14-8.5-100-6.0
Pathlength: 100mm
ID: 8.5mm
Volume: 6.0mm
Manual set
2006 vintage.
RUDOLPH AVP/Autopol V Polarimeter는 나노 미터 수준의 정확도로 정확한 두께 계산을 가능하게하는 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 수직 투과 설계 (vertical-transmission design) 를 기반으로하며, 샘플의 두께와 굴절률을 모두 측정하기 위해 고급 광학 간섭 측정 기술을 사용합니다. 2 개의 레이저 소스를 사용하여 광범위한 재료에 대해 나노 미터 수준의 해상도로 약 1 nm ~ 600 "m '의 두께를 측정 할 수 있습니다. 입사광의 편광은 표본 앞에 놓인 A- 편광기 (A-polarizer) 에 의해 필터링되어, 연구 중인 재료의 굴절률 (refractive index) 함수로 빛의 각도 변화를 측정 할 수있다. 이를 통해 사용자는 샘플의 두께 (thickness) 와 재료의 굴절률 (refractive index) 을 정확하게 계산할 수 있습니다. 광학 구성은 2 개의 레이저 소스, 광검출기 및 편광 빔 스플리터로 구성됩니다. 두 개 의 "레이저 '원 은 한 개 의 표본 을 동시 에 측정 하여" 오퍼레이터' 가 믿을 만한 두께 를 측정 할 수 있게 한다. 감지된 신호는 선형이 아닌 검출기 응답을 수정하기 위해 선형 (linearized) 탐지기 응답 수정 모듈을 통해 전달됩니다. 그런 다음, 수정된 신호는 디지털화되어 재료의 두께 (thickness) 와 굴절률 (refractive index) 을 계산하는 데 사용되는 고성능 수치 프로세서로 공급됩니다. 또한 AVP/Autopol V Polarimeter에는 자동 교정 프로세스가 있으므로 각 샘플 측정을 통해 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. Autopol V에는 몇 가지 고유 한 기능이 장착되어 있어 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 응용 프로그램에 특히 유리합니다. 이 제품은 광범위한 생산 프로세스 (production process) 와 제조 셋업 (manufacturing setup) 에 쉽게 통합되도록 설계되었습니다. 이 기계에는 자동 위치 감지, 자동 초점 조정, 샘플 자동 전송 (Automatic Transport of Sample) 등 여러 자동화 기능이 장착되어 있습니다. 또한, 통합 오류 제어 (Error Control) 및 보상 시스템은 최고 수준의 정확성과 신뢰성을 보장하도록 설계되었습니다. 전반적으로 RUDOLPH AVP/Autopol V Polarimeter는 신뢰할 수 있고 정확한 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구로서 탁월한 성능과 정확도를 제공합니다. 고급 (advanced) 기능을 통해 업계에서 가장 발전된 시스템 중 하나로, 웨이퍼 테스트 (Wafer Testing) 및 도량형 애플리케이션 (Metrology Application) 을 선택할 수 있습니다.
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