판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST S3000SX #9305282

RUDOLPH/AUGUST S3000SX는 고급 웨이퍼 도량형 기능을 제공하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 최대 300mm 웨이퍼의 정확한 측정을 제공하도록 설계되었습니다. 자동 진공 실러 시스템을 갖춘 통합 웨이퍼 스테이지 (Wafer Stage) 를 통해 더욱 향상된 웨이퍼 처리 및 포지셔닝 기능을 제공합니다. 8 월 S3000SX 는 자동화된 빔 정렬 방식의 고정밀 레이저 장치를 장착하고, 정확하고 반복 가능한 측정을 위한 실시간 이미징을 제공합니다. 이 기계는 고급 광전자 측정 기술을 사용하여 높은 해상도, 정확도를 확보하고 비용 효율적인 처리량을 달성합니다. 여러 개의 광 서브시스템, 레이저 다이오드, 고속 측정을위한 고수치 조리개, 유연성 등이 장착되어 있습니다. RUDOLPH S3000SX는 라인 너비, 스텝 높이, 오버행 및 결함 프로파일을 포함한 다양한 측정을 수행 할 수 있습니다. 이 도구를 사용하면 한 번에 두 개의 검사 매개변수를 동시에 얻을 수 있습니다. 노이즈 수준이 낮고 해상도가 높은 고급 광전자 측정이 수행됩니다. 또한 웨이퍼의 작은 결함을 20nm 이하의 해상도에서 감지 할 수있는 기능을 제공합니다. 또한 S3000SX는 다양한 검사 및 측정 요구에 적합한 다양한 전문 제품을 제공합니다. 자산은 다양한 테스트 및 도량형 용도로 사용자 정의 할 수 있습니다. 이 장치는 표준 웨이퍼 테스트 (Wafer Test) 및 분석 프로세스 외에도 에지 검사 (Edge Inspection), 코너 검사 (Corner Inspection) 및 이미지 분석 (Image Analysis) 과 같은 특수 제품을 제공하여 웨이퍼 표면에 대한 자세한 정보를 얻을 수 있습니다. 이 모델에는 웨이퍼 기능 검사 및 측정에 사용되는 CCD 카메라가 함께 제공됩니다. 카메라는 고해상도를 특징으로 하며, 고해상도로 정보를 캡처할 수 있습니다. 이 장치에는 빠르고 정확한 측정을위한 LFOV (Large Field of View) 및 AFC (Advanced Focus Control) 도 제공됩니다. RUDOLPH/AUGUST S3000SX에는 각 웨이퍼의 장비를 빠르고 정확하게 설정 할 수있는 교정기가 장착되어 있습니다. 이 시스템은 또한 분석 검색 결과를 저장할 수 있는 기능 (scan result for analysis) 을 제공하며, 품질 보증 (quality assurance) 모니터링을 위한 광범위한 데이터를 저장할 수 있습니다. 전반적으로 AUGUST S3000SX는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치이며, 정확한 측정, 고속 측정 및 강력한 광전자 기능을 제공합니다. 이 도구는 기계의 사용자 정의 (customize) 및 특수 측정 (specialized measurements) 기능을 통해 정확하고 효율적이며 비용 효율적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 (metrology) 기능을 원하는 고객에게 적합합니다.