판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST 3Di 8500 #9283331

ID: 9283331
Wafer inspection system, 12" 2008 vintage.
RUDOLPH/AUGUST 3DI 8500은 효율적인 방법으로 빠르고 정확하고 안정적인 결과를 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 다이 서피스 (die surface) 기능과 결함 특성에 대한 전체 개요를 제공하는 다양한 웨이퍼 (wafer) 검사 및 특성 (characterization) 기능을 제공합니다. 이 장치는 컴팩트한 수동 (Manuly Operating) 플랫폼으로 구성되며, 다양한 테스트에 사용하기 쉬운 인터페이스를 제공합니다. 고해상도 이미징 및 자동 이미지 캡처 기능을 갖춘 첨단 광학 기술 (Optical Technology) 과 정밀 정렬 및 정확한 도량형을위한 3D 보상 기능을 갖추고 있습니다. 8 월 3 일 DI 8500 을 사용하면 평면 사각형 웨이퍼, 커브 (curved), 초승달 (crescent), 테이퍼 (tapered) 웨이퍼 등 다양한 크기와 모양의 웨이퍼 분석을 위한 검사 매개변수를 최적화할 수 있습니다. 고급 옵틱 (Optic) 은 사용자 정의 기능을 보여 주는 고품질 이미지를 제공하여 사용자가 웨이퍼 결함을 정확하게 평가하고 분류할 수 있도록 합니다. 기계는 또한 결절, 구릉, 얼룩, 입자, 주름 및 구덩이와 같은 많은 표면 결함과 호환됩니다. RUDOLPH 3Di 8500은 또한 스페이서 높이와 너비를 측정하는 뛰어난 3D 기능을 제공합니다. 이 도구의 추가 기능에는 조도 (roughness) 와 측면 (sidewall) 각도를 측정하여 품질 제어를 강화하고, 두께, 너비 및 균일성을 평가하기 위해 에피택시 (epitaxy) 및 격리 구조를 분석하는 기능이 포함됩니다. 에셋은 또한 높은 정밀 도량형과 0.6 ½ m 이하의 기능을 정확하게 검사하기위한 낮은 확대 이미징 모드를 제공합니다. 3DI 8500 (3DI 8500) 은 신뢰할 수 있는 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델을 찾는 업계 및 교육 시설에 적합한 선택입니다. 고급 광학 기술 (Optical Technology) 과 자동 이미지 캡처 (Automated Image Capture) 를 제공하며 사용하기 쉬운 인터페이스로 웨이퍼 결함을 평가 및 분류할 수 있습니다. 이 장비는 사용자 친화적이며, 정밀도가 높은 도량형 기능을 제공하여 정확하고 안정적인 웨이퍼 검사 및 특성을 제공합니다.
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