판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST 3DI 8000 #9206004
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RUDOLPH/AUGUST 3DI 8000은 우수한 분석 및 테스트 데이터를 제공하기 위해 설계된 완전 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 응력, 변형, 전기 특성, 재료 특성의 다른 측면을 포함한 다양한 매개변수를 측정 할 수 있습니다. 다양한 데이터 획득 (data acquisition) 기술을 사용하여 다양한 반도체 재료 및 구조의 물리적, 기계적, 열적, 전기적 성능을 측정 할 수 있습니다. AUGUST 3DI 8000에는 최대 0.1 나노미터 (0.1 나노미터) 의 해상도로 3 축으로 웨이퍼의 표면 프로파일을 정확하게 측정하고 특성화 할 수있는 고정밀 레이저 간섭계 시스템이 장착되어 있습니다. 이 장치는 또한 C-MOS 센서가 장착 된 고해상도 XYRIS 4 단계 도량형 기계를 갖추고 있으며, 3 개 축 모두에서 전체 시야를 제공하며, 0.1 미크론의 해상도로 라인 너비, 주기성 및 결함/공극과 같은 다양한 기능을 측정 할 수 있습니다. 이 도구는 또한 적정 레이저 빔 에셋 (colimated laser beam asset) 을 사용하여 응력 및 변형 측정을 수행 할 수 있습니다. 여기서 레이저는 샘플의 광학 효과를 흥분시켜 응력과 변형으로 인한 변형을 감지합니다. 이 모델은 또한 커패시턴스, 인덕턴스, 저항 등 다양한 전기 특성에 대한 비 접촉 측정을 제공합니다. RUDOLPH 3DI 8000은 또한 자동화된 루틴을 관리하기 위한 강력한 그래픽 사용자 인터페이스를 제공합니다. 사용자 정의 템플릿을 사용하면 미리 정의된 웨이퍼 (wafer) 및 샘플 특성을 사용하여 매개변수를 빠르게 수정할 수 있습니다. 고속 데이터 획득, 이미지 획득 및 처리, 고급 도량형 기능 등을 통해 3DI 8000 은 Wafer 의 결함 및 기타 결함을 신속하게 분석, 감지할 수 있습니다. RUDOLPH/AUGUST 3DI 8000은 업계 최고의 정밀도로 가장 발전된 반도체 재료에 대한 종합적인 테스트를 수행 할 수있는 컴팩트하고 독립적인 장비입니다. 반도체 (반도체) 소재 분야의 연구자· 엔지니어에 적합한 고급 비접촉식 테스트 (non-contact testing) 와 자동화된 루틴 (automated routine) 을 제공한다.
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