판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST 3DI 8000 #293761475
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RUDOLPH/AUGUST 3DI 8000은 고도로 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 그것 은 "웨이퍼 '에 있는 반도체 장치 의 기하학적 특성 을 측정 할 때 최적 의 정확도 와 정밀도 를 제공 할 수 있다. 반도체 장치 기능에 대한 광학 현미경 및 간섭 측정을 모두 제공합니다. 이 시스템은 특별히 설계된 3 축 간섭 현미경과 정밀 단계를 결합하여 웨이퍼 측정을위한 영상 장치 (Imaging unit) 를 만듭니다. 현미경은 2 개의 횡축 간섭계를 포함하는 염기로 구성되며, 3 차원에서 2 개의 측면 및 1 개의 직교 변위를 측정 할 수있다. 현미경은 또한 수직 치수나 깊이를 높은 정확도로 측정하는 데 사용되는 절연 빔 (climated beam) 을 가지고 있습니다. 그 에 더하여, 기계 에는 정확도 가 높은 커다란 "웨이퍼 '부위 를 주사 할 수 있는 정밀 단계 가 들어 있다. AUGUST 3DI 8000은 진동이 심하지 않도록 설계된 강력한 도구입니다. 이 자산은 최대 1.5 나노미터의 향상된 해상도와 최대 0.2 나노미터의 반복 성을 제공합니다. 이 모델을 사용하면 웨이퍼 수준에서 반도체 구조의 3 차원 정보를 빠르고 정확하게 측정 할 수 있습니다. 루돌프 3DI 8000 (RUDOLPH 3DI 8000) 에는 사용자에게 종합적인 그래픽 디스플레이를 제공하는 고급 이미지 분석 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하여 장비와 함께 캡처된 데이터를 분석하고, 획득한 이미지를 참조 이미지 (reference image) 와 비교할 수도 있습니다. 이 이미지 처리 소프트웨어를 사용하면 획득한 데이터를 시각화 (Visualization) 하고 추가 데이터 분석 (Data Analysis) 을 수행할 수 있습니다. 3DI 8000은 높은 처리량 측정과 광범위한 측정 기능을 제공합니다. 전문 연구 개발 작업에 이상적인 선택입니다. 또한 프로덕션 테스트 및 품질 관리 애플리케이션에도 적합합니다. 이 시스템은 새로 개발된 반도체 재료의 성능과 신뢰성을 분석하기 위한 완벽한 선택이다. & # 160; & # 160;
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