판매용 중고 PHOSEON MX1002 #9226706

PHOSEON MX1002는 반도체 산업을 위해 만들어진 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 그것 은 "웨이퍼 '," 실리콘 칩' 혹은 기타 재료 와 같은 기판 의 특성 을 측정 하도록 설계 되었다. 이 시스템에는 레이저 간섭법 (laser interferometry) 과 광학 프로파일링 (optical profiling) 을 사용하여 기판의 고해상도 이미징을 사용하는 고급 광학 도량형 헤드가 있습니다. 넓은 영역에 대한 층 간 도량형, 필름 두께 측정, 고배율에서의 결함 감지 등의 테스트를 수행합니다. 이 장치는 7 축 운동학 설계로 X 축과 Y 축 모두에서 최대 2000mm까지 이동할 수 있습니다. 이것은 넓은 측정 영역을 허용합니다. 광학 헤드는 또한 최대 배율 (250x) 의 가변 초점 길이와 최대 40mW의 조정 가능한 레이저 전력을 제공합니다. 광학 기계 자체는 고정밀 정렬 구성 요소를 사용하여 보정 및 구성됩니다. 또한 MX1002에는 거리 측정을위한 디지털 선형 인코더, 이미지 분석을위한 64 채널 커패시턴스 센서, 온도 보상 커패시턴스 센서 (capacitance sensor) 가 포함 된 최첨단 센서 제품군이 장착되어 있습니다. 이 센서 제품군은 표면 거칠기에서 깊이 프로파일까지 다양한 측정 값을 제공합니다. 또한 PHOSEON MX1002 (PHOSEON MX1002) 는 센서에서 수집한 데이터를 분석하도록 설계된 강력한 소프트웨어 제품군을 사용합니다. 이 소프트웨어에는 고급 통계 분석 기능과 더불어 데이터 사후 처리를 위한 강력한 툴이 포함되어 있습니다 (영문). 이 소프트웨어에는 스캔 레코더 (scan recorder) 기능도 포함되어 있어 표준 속도보다 최대 20 배나 빠른 데이터를 저장할 수 있습니다. MX1002 는 반도체 업계의 요구를 충족할 수 있도록 설계된 강력한 툴입니다. 고정밀도 옵틱 (optic), 복합형 센서 제품군, 강력한 소프트웨어를 통해 다양한 기판을 정확하고 빠르게 측정할 수 있습니다.