판매용 중고 PHASE SHIFT TECHNOLOGY OptiFlat #9244626
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PHASE SHIFT TECHNOLOGY OptiFlat은 고급 다차원 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고정밀 레이저 감지, 나노메트릭 정확한 스캔, 빠른 데이터 처리 기능을 제공합니다. 이 기술은 위상 이동 레이저 프로파일링 (phase-shift laser profiling) 을 사용하여 지형을 비파괴적으로 측정하고 프로세스 제어 및 생산성 향상을 위한 풍부하고, 안정적이며, 반복 가능한 기하학적 데이터를 제공합니다. OptiFlat 시스템에는 나노미터 규모의 변위 센서와 고급 이미지 처리 알고리즘이 장착되어 있습니다. 이를 통해 시스템은 웨이퍼 표면의 정확한 레이저 프로파일뿐만 아니라 로컬 핫스팟 (local hotspot) 이나 결함 (defects) 과 같은 미세하고 나노 형 구조를 매핑할 수 있습니다. 나노 미터 정확도로 표면 토폴로지를 매핑 할 수 있으며, 정확한 데이터 수집 및 분석이 가능합니다. PHASE SHIFT TECHNOLOGY는 처리 시간을 줄이고 검사 속도를 높이고 매우 정확하고 균일한 결과를 생성합니다. 또한 다양한 재료, 기판, 크기에 걸친 결함 및 핫스팟을 측정 할 수 있습니다. 고속 스캔 기능을 통해 PHASE SHIFT TECHNOLOGY OptiFlat은 레이저 간섭법 (Laser Interferometry) 과 같은 전통적인 비 접촉 측정보다 더 자세한 정보를 생성합니다. 또한 OptiFlat 은 데이터 정확성과 신속한 데이터 처리를 보장하는 다양한 기능을 제공합니다. 설치 및 보정이 용이하도록 자동 정렬 장치가 있습니다. 또한 데이터 머신은 자동화된 추적 및 데이터 로깅을 통해 실시간 분석 및 보고 기능을 제공합니다. PHASE SHIFT TECHNOLOGY OptiFlat 툴은 반도체 업계의 웨이퍼 테스트 및 도량형 작업에 적합합니다. 표면 토폴로지의 미묘한 변화를 감지하여 결함이 발생할 수 있습니다. 정밀 나노미터 배율 측정 기능을 통해 박막 처리 결함, 서피스 결함, 기타 서피스 피쳐와 같은 피쳐를 적절하게 평가할 수 있습니다. 제품 평가, 프로세스 개발, 프로세스 제어에 유용한 툴입니다. 고정밀 레이저 감지, 나노메트릭 (nanometric-accurate) 스캔, 빠른 데이터 처리 기능을 갖춘 OptiFlat 자산은 웨이퍼 테스트 및 도량형 어플리케이션을 위한 강력한 도구입니다. 표면 토폴로지 (surface topology) 와 결함 (defect) 을 빠른 속도로 측정하는 신뢰할 수 있고, 반복 가능하며, 정확한 방법을 제공합니다. 이 다차원 모델은 프로세스 제어, 수익률 개선, 제품 평가에 귀중한 데이터를 제공합니다.
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