판매용 중고 ORC MEM-5296D #9243762
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ORC MEM-5296D Wafer Testing and Metrology 장비는 이중 목적, 고도로 맞춤형 및 정밀 웨이퍼 테스트 시스템입니다. 이 장치는 2 개의 주요 테스트 구성 요소, 고급 옵티컬 머신 (advanced optical machine) 및 웨이퍼 테스트 헤드 (wafer test head) 로 구성됩니다. 광학 도구는 회전하는 다축 광학 구조, 정확한 동작 정확도를 가진 4 축 조작기, 정밀 선형/회전 단계 및 6 축 모놀리식 광학 열차로 구성됩니다. 이 높은 정확도 광학 자산은 설정 (setup) 과 정렬 (alignment) 시간을 단순화하고 섬세한 연산자 조정이 필요하지 않습니다. 최대 12.7mm (12.7mm) 의 조절 가능한 작업 범위로, 이 모델은 다양한 크기의 생산 및 개발 웨이퍼에 적합합니다. 웨이퍼 테스트 헤드에는 반복 가능한 웨이퍼 정렬을위한 내장 자동 fiducial 탐지가 포함되어 있습니다. 테스트 헤드는 최대 10nm의 웨이퍼 정렬 정확도 (높은 정밀도, 전원 제어 프로브 기능) 를 갖추고 있습니다. 이 자동 테스트 헤드는 조작 자 (operator) 의 개입을 최소화하면서 웨이퍼 (wafer) 테스트에 대한 처리량을 높이도록 설계되었습니다. 온보드 측정 프로세서 (on-board measurement processor) 를 사용하면 테스트 헤드가 높은 정밀도 필터링 및 비교를 통해 웨이퍼 측정을 적용할 수 있습니다. 이 장비는 매개변수 측정, 맵 플로팅, 평균 그래핑, 상세한 디지털 이미징 등, 즉시 사용할 수 있는 실시간 데이터를 운영자에게 제공합니다. 이 웹 사이트 시스템은 실시간 테스트 정보를 위해 OPC, GEM, SECS-II 및 HM1512A를 포함한 표준 Fab 소프트웨어 프레임 워크와 호환됩니다. 버튼 클릭 (click of a button) 을 통해 무료 충돌 감지 기능을 제공하며, 의도하지 않은 충돌을 제거하고 반복 가능한 테스트 결과를 제공합니다. MEM-5296D (Advanced Optics of MEM-5296D) 를 결합한 고정밀도, 자동 웨이퍼 (Automated Wafer) 테스트 및 실시간 측정 프로세싱을 통해 Wafer 테스트 및 도량형 애플리케이션에 이상적인 솔루션이 됩니다. 정밀도, 정확도, 유연성 등을 통해 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기와 테스트 매개변수를 테스트하고 도량형이 가능하며, 섬세한 연산자 조정이 필요하지 않습니다.
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