판매용 중고 OAI 311 #9169990

OAI 311은 반도체 제조업체가 사용하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 입자 크기 및 구성 모니터링, 결함 매핑, 광학 검사, 오염 분석, 임계 치수 (CD) 측정 등 포괄적인 웨이퍼 도량형 기능을 제공합니다. 이 시스템은 EDS (energy dispersive spectroscopy) 를 사용하여 샘플의 화학 조성 및 입자 크기를 분석 할 수 있습니다. 새로운 x- 선 검출기를 사용하여 입자의 크기와 모양을 나노 미터 스케일 해상도까지 측정합니다. 또한이 장치는 웨이퍼 표면에서 가능한 다양한 결함 (예: 마이크로 크랙, 미립자, 기존 결함) 을 감지, 분리 및 분석 할 수 있습니다. 이 기계는 EDS 외에도 주사 전자 현미경 (SEM) 을 사용하여 배선 경로, 선 너비, 토지 토폴로지, 결함 위치 등 웨이퍼 (wafer) 의 표면 기능을 시각화합니다. 또한 SEM은 샘플을 통해 전자 빔을 통과시켜 오염 물질, 하전 입자 및 기타 나노 스케일 (nanoscale) 요소를 감지 할 수 있습니다. 이러한 기능은 광학 검사 도구 (optical inspection tool) 로 보완되며, 이 도구는 웨이퍼 서피스의 이미지를 캡처하여 정밀도 측정을 위해 처리합니다. 에셋에는 측정 도량형 기능이 포함되어 있으며, 이를 통해 사용자는 나노미터 수준의 정확도로 웨이퍼의 중요한 크기 (예: 게이트 너비, 접촉 깊이, 도핑 프로파일) 를 측정 할 수 있습니다. 이 상세한 분석을 통해 웨이퍼 (Wafer) 처리 품질을 더욱 효과적으로 제어할 수 있으며, 신뢰성 및 품질 보장을 보장합니다. 요약하면, 311은 고급 기술 기능을 제공하여 입자 구성 및 임계 치수 측정을 모두 나노 미터 레벨 해상도로 분석 할 수 있습니다. 결함 분석 (Defect Analysis) 및 도량형 (Metrology) 기능은 고객이 웨이퍼 처리 결과의 정확성과 신뢰성에 대한 자신감을 제공합니다.