판매용 중고 NOVASCAN 420 #9282488

ID: 9282488
Systems P/N: 210-48000-00 P/N: 210-48000-01.
노바스칸 420 (NOVASCAN 420) 은 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 고급 웨이퍼 재료 및 제품에 대해 정확하고 안정적인 측정을 제공합니다. 웨이퍼 표면의 미세 구조 성능을 검사, 분석, 보고하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 평평함, 뒤틀림, 판 두께, 피크 투 밸리, 활, 스트레스 및 스트레스 복굴절과 같은 물리적 매개변수를 측정 할 수 있습니다. 420은 자동 광학 도량형 장치이며, 웨이퍼 테스트 및 도량형에 대한 전체적인 접근 방식을 제공합니다. 온보드 다이아몬드 선반가공 기계는 대상 표면의 다중 모드 지능형 3D 이미징 (multimodal intelligent 3D imaging) 을 사용하여 웨이퍼 표면의 정확도가 높은 비 접촉 측정을 특징으로합니다. 3D 이미징 기술을 사용하면 표면 유형 및 구조적 정보에 대한 신속한 감지 및 즉각적인 분석을 수행할 수 있으며, 이는 입자, 스크래치, 워페이지 (Warpage) 등과 같은 잠재적 결함을 진단하는 데 사용할 수 있습니다. 또한, NOVASCAN 420에는 고급 기계 학습 알고리즘 및 컴퓨터 비전 처리 (computer vision processing) 가 장착되어 있어 결함과 결함을 실시간으로 감지하고 감지 할 수 있습니다. 고급 매개변수 화 기술 및 에지 검출 알고리즘은 웨이퍼 특성에 대한 자세한 분석을 제공하기 위해 사용됩니다. 이러한 피쳐를 사용하면 굴절률 (refractive index), 광학 특성 (optical properties), 서피스 구성 (surface composition) 과 같은 재료 특성을 신속하게 확인할 수 있습니다. 또한, 기계를 사용하여 서피스 형태, 지형, 프로파일, 선 너비 등의 매개변수를 측정할 수 있습니다. 이 기계는 최대 10um/mm의 두께 프로파일 (최대 60nm) 에 사용할 수도 있습니다. 420 은 이러한 기능 외에도, 측정 데이터의 통계적 분석을 지원하는 강력한 분석 툴을 제공합니다 (영문). 이 분석 도구에는 파워 스펙트럼 밀도 (power spectral density) 및 자동 상관 측정 (auto-correlation measurements) 이 포함되며, 이는 웨이퍼 서피스 형상에서 장거리 변형을 감지하는 데 사용될 수 있습니다. 이 도구는 온보드 메모리에 최대 10,000 개의 고해상도 웨이퍼 이미지를 저장할 수도 있습니다. 전반적으로 NOVASCAN 420은 정확하고 안정적인 웨이퍼 테스트 및 도량형을 가능하게하도록 설계된 고급 다기능 자산입니다. 이 제품은 사용 편이성을 갖춘 플랫폼으로, 결과의 시간을 줄이고 프로세스 일관성을 향상시킬 수 있도록 설계되었습니다. 강력한 분석 툴과 기술 기능을 갖춘 종합적인 제품군을 통해 420 개가 연구 개발 연구소, 대학, 생산 시설에 이상적인 솔루션으로 자리잡았습니다.
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