판매용 중고 NOVASCAN 420 #117521

NOVASCAN 420은 고정밀 측정, 분석 및 실시간 프로세스 성능을 제공하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 중요한 프로세스 매개변수를 측정, 유지하는 데 가장 강력한 도구입니다. 다양한 테스트 방법을 갖춘 420 개 (parametric defects) 와 다른 불규칙성을 정확하고 적시에 감지하여 프로세스 최적화를 보장합니다. 이 시스템은 고속 레이저 스캔 플랫폼, CCD 카메라, 고해상도 광학 이미징 장치, 일련의 임베디드 필터 및 다양한 테스트 알고리즘으로 구성됩니다. 레이저 스캐닝 플랫폼은 고정밀 벡터 드라이브 (Vector Drive) 를 특징으로하며, 기계에서는 각 웨이퍼의 초박형 프로파일과 커브를 정확하게 측정 할 수 있습니다. CCD 카메라는 각 웨이퍼의 실시간 이미지를 캡처하여 카메라를 재배치할 필요 없이 전체 각도 (full-angle) 가시성을 제공합니다. 광학 이미징 도구는 나노미터 정밀도로 정확한 3D 측정을 제공하여, 가장 작은 서피스 피쳐를 정확하게 분석 할 수 있습니다. 임베디드 필터 (Embedded Filter) 는 여러 파장의 빛을 제공하여 다양한 광학 특성을 가진 다양한 재료를 분석 할 수 있습니다. NOVASCAN 420의 테스트 알고리즘은 웨이퍼 명목 특성에서 측정 가능한 불일치를 감지하도록 설계되었습니다. 이 알고리즘은 실제 측정을 미리 결정된 값 세트와 비교하여 프로세스 성능에 대한 실시간 피드백 (feedback) 을 제공합니다. 다중 장치 매개 변수 모니터링 및 포괄적인 패턴 인식 (pattern recognition) 과 같은 고급 솔루션도 사용할 수 있습니다. 이 자산은 또한 기존 자동화 플랫폼과 쉽게 통합하여 쉽게 통합할 수 있습니다. 전반적으로, 420은 정확한 레이저 스캔, 전각 CCD 카메라, 고해상도 이미징 장비 및 다양한 테스트 알고리즘을 갖춘 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델로, 사용자에게 프로세스 최적화를 보장하는 정확한 도구를 제공합니다.