판매용 중고 NOVA V2600 #9397357

NOVA V2600은 고급 반도체 제작 및 제조 배포 라인을 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 스캐닝 전기 테스트, 광학 테스트, 결함 마스킹 및 검사, 다이 시어 (die shear) 및 패키지 풀 테스트, 광학 및 입자 특성 등 모든 유형의 테스트 및 도량형 작업을 수행 할 수 있습니다. 시스템은 OETS (Optical and Electrical Test Station) 와 MS (Metrology Station) 의 두 모듈로 구성됩니다. OETS는 모듈 식 광학 및 전기 테스트 스테이션 (optical testing station) 으로 구성되며, 이 스테이션은 자동 로봇 암을 사용하여 웨이퍼 레벨 테스트 작업을 수행합니다. 이 장치는 2D 및 3D 도량형 및 전기 측정을 모두 지원하며 도펀트 농도, 결함 및 불순물 밀도, 장치 수율, 기타 중요한 프로세스 관련 매개변수와 같은 매개변수를 빠르고 정확하게 측정하는 데 사용할 수 있습니다. Metrology Station에는 주사 전자 현미경 (SEM), 원자력 현미경 (AFM) 및 초점 레이저 현미경 (CLM) 과 같은 다양한 도량형 및 영상 기기가 있습니다. 또한 푸리에 변환 적외선 분광계 (FTIR), X- 선 광전자 분광계 (XPS) 및 라만 분광계를 포함한 다양한 분광기구가 포함되어 있습니다. 이러한 기기는 에치 깊이, 밀도, 지형, 인터페이스 각도, 서피스 황삭 및 기타 중요한 프로세스 변수를 포함한 웨이퍼 레벨 Metrology 및 Imaging 매개변수를 측정하는 데 사용됩니다. V2600 에는 데이터 수집 및 분석 자동화 (Automated Data Acquisition and Analysis) 등 다양한 자동 기능이 포함되어 있어 데이터를 빠르고 정확하게 분석할 수 있습니다. 이 시스템은 SPC (Statistical Process Control) 패키지 및 기타 CAD/CAM (Computer-Aided Design and Manufacturing) 소프트웨어와 같은 다른 소프트웨어와 통합 할 수 있습니다. 고급 데이터 분석/보고 기능을 통해 프로세스 개선 및 최적화를 위한 고급 의사 결정 (Decision-Making) 지원 기능을 제공합니다. 안전성 측면에서, 이 도구는 반도체 산업의 안전 표준을 충족하도록 설계되었으며, 추가 인터 록 (interlock) 및 검증된 내장 안전 기능 (BIST) 을 포함한 여러 계층의 안전 탐지를 제공합니다. 이 기능을 사용하면 위험 환경 (Hazardous Environment) 이 있는 상태에서 자산이 활성화되지 않으며, 운영 환경에서 안전하게 운영될 수 있습니다. 전반적으로, NOVA V2600 은 강력하고 안정적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델로, 고급 반도체 제조를 위한 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 고급 시스템 및 기능을 통해 사용자는 데이터를 빠르고 정확하게 분석, 결함 확인, 프로세스 최적화, 품질 향상 등을 수행할 수 있습니다. 또한, 안전 (Safety) 기능은 안전하고 효율적인 방식으로 사용할 수 있습니다.