판매용 중고 NOVA NovaScan 420 #9077702
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NOVA NovaScan 420은 반도체 웨이퍼를 테스트하고 분석하기 위해 설계된 도량형 시스템입니다. 이를 통해 첨단 광학 간섭계 (interferometer) 를 활용하여 최고의 반복성과 정확도로 고정밀 측정을 얻을 수 있습니다. NovaScan 420에는 광학 간섭계 모듈과 전용 정렬 스테이션의 두 가지 부품이 있습니다. 광학 간섭계 모듈에는 광학 전자 부품 플랫폼, 광학 경로 프레임, 조명 도구, 자동 빼기, 광학 프로파일로미터 구성 요소가 포함됩니다. 정렬 스테이션은 웨이퍼가 장착되고 측정이 수행되는 곳입니다. 스테이션은 또한 시스템을 교정하고, 높은 수준의 정밀도 내에서 정렬 정밀도를 유지하는 역할을 합니다. NOVA NovaScan 420 의 광 간섭계 (optical interferometer) 는 웨이퍼 매핑을 위한 정확한 자동 단계와 통합되어, 사용자가 웨이퍼 표면의 지형을 빠르고 정확하게 측정 할 수 있습니다. 또한 서피스 거칠기, 디스크 깊이, 가이드 그루브, 코너 구조, 스텝 높이 등 다양한 측정을 수행할 수 있는 소프트웨어 (SW) 툴도 포함되어 있습니다. 또한 NovaScan 420에는 전자 고장 분석을위한 소프트웨어 제어 현미경 및 이미지 분석 도구가 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 와이퍼 (wafer) 표면의 결함 영역을 빠르고 정확하게 식별하거나, 수율 (yield) 및 패턴 (patterning) 참여자를 찾아 특성화할 수 있습니다. NOVA NovaScan 420 (Nova NovaScan 420) 에 통합된 포괄적인 측정 도구 모음은 활성 컴포넌트에서 유리 기판에 이르기까지 다양한 제품의 성능을 모니터링하는 정확한 도량형 기능을 제공합니다. 다양한 웨이퍼 크기 (최대 12 인치) 를 지원하며 최대 24 개의 웨이퍼 캐리어를 수용 할 수 있습니다. 무엇보다도, NovaScan 420 은 다양한 애플리케이션에서 사용할 수 있는 고급 웨이퍼 (wafer) 테스트 및 도량형 솔루션입니다. 광학 간섭계 (Optical Interferometer) 와 자동화된 단계 (Automated Stage) 는 고정밀 측정을 빠르고 정확하게 만드는 반면, 이미지 분석 기능은 귀중한 반도체 정보에 대한 액세스를 제공합니다. 이러한 모든 기능을 통해 NOVA NovaScan 420은 오늘날의 현대 반도체 산업에 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다.
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