판매용 중고 NOVA NovaScan 3090 #9228371
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ID: 9228371
웨이퍼 크기: 12"
Film measurement system, 12"
P/N: 390-10000-11
Hard Disk Drive (HDD) Missing.
NOVA NovaScan 3090 (NOVA NovaScan 3090) 은 복잡하고 전문화 된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 사용자에게 반도체 웨이퍼의 임계 치수를 정확하고 신뢰할 수 있도록 설계되었습니다. 3090은 실리콘 온 인슐레이터 (SiOI) 기판 및 기타 고급 재료를 포함하여 다양한 웨이퍼를 빠르고 안정적으로 분석 할 수있는 자동 시스템입니다. 이 장치는 비접촉 에디 전류 (non-contact eddy current) 및 커패시턴스 변위 센서를 사용하여 높은 정확도로 웨이퍼의 물리적 기능을 측정합니다. 이 센서 머신은 반전 된 광학 프로파일로미터를 기반으로하며 x축 방향에서는 30 나노미터, y축 방향에서는 최대 1 미크론을 갖습니다. 노바 스캔 (NovaScan) 3090은 결함을 신속하게 감지하고 분석하고 웨이퍼의 물리적 치수를 정확하게 측정하도록 설계되었습니다. NOVA NovaScan 3090 은 소프트웨어 패키지를 사용하여 특정 Wafer 및 기술 요구 사항에 맞게 툴을 쉽게 구성할 수 있습니다. 또한 소프트웨어 패키지를 사용하여 측정 기준을 설정하고, 데이터 파일을 처리하고, 상세한 분석 보고서를 작성할 수 있습니다. 또한, 자동화된 테스트 (automated testing) 및 결함 검사 루틴의 개발을 돕기 위해 소프트웨어 패키지를 프로그래밍할 수 있습니다. NovaScan 3090에는 성능을 향상시키는 다양한 도구가 장착되어 있습니다. 수동 (manual) 및 자동 (automated) 스테이지 에셋과 고급 패턴 인식 소프트웨어가 모두 제공됩니다. 이 도구를 사용하면 다양한 웨이퍼 (wafer) 의 결함을 빠르고 효율적으로 평가할 수 있습니다. 예를 들어, 자동 단계 (automated stage) 장비를 사용하면 다양한 각도나 깊이에서 여러 인쇄물을 빠르게 얻을 수 있습니다. NOVA NovaScan 3090은 다재다능하고 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. "와퍼 '의 신체적 특성 을 정확 하고, 정확 하게 측정 할 수 있는 여러 가지 정교 한 도구 가 있다. 고급 패턴 인식 소프트웨어 (pattern recognition software) 와 자동 스테이지 시스템 (automated stage systems) 을 활용하여, 이 장치는 사용자에게 결함을 빠르고 정확하게 감지하고 분석할 수 있는 기능과 웨이퍼의 물리적 크기를 측정할 수 있는 기능을 제공합니다. 이 기계의 사용 편의성과 정확도가 높은 측정은 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 (metrology) 과 관련된 모든 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.
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