판매용 중고 NOVA NovaScan 3090 #293823988

NOVA NovaScan 3090은 NOVA Technology Corporation의 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 MEMS 및 광자 웨이퍼 테스트에서 정확하고 정확한 측정을 제공하도록 설계되었습니다. 자체 정렬 광학 간섭계 (Optical Interferometric Profilometer) 를 사용하여 최대 0.1nm의 고출력 해상도를 제공합니다. NovaScan 3090에는 2 개의 스크류 스타일 테스트 로더가 장착 된 대형 자동 웨이퍼 스테이지가 있으며, 다양한 테스트 웨이퍼 크기에 대한 단일 극성 (uni-polar) 및 다중 극성 (multi-polar) 구성을 모두 처리 할 수 있습니다. 이 장치는 최대 웨이퍼 직경이 300mm 인 200 µm ~ 5mm 범위의 웨이퍼 두께를 수용 할 수 있습니다. 스테이지에는 360도 회전이 있으므로 각도에서 테스트 샘플을 정확하게 측정 할 수 있습니다. NOVA NovaScan 3090에는 또한 내장 된 RGB 레이저 간섭계가 있으며, 이는 레이저 간섭계의 정밀도와 CCD 이미징의 충실도를 결합합니다. 이렇게 하면 다양한 각도의 정확한 이미지를 다양한 소재로 캡처할 수 있습니다 (영문). 이 공구는 서피스 텍스처, 지형, 마이크로 피쳐뿐만 아니라 단계 높이에서 하부 나노 미터 불일치를 캡처할 수 있습니다. 또한, NovaScan 3090에는 정확한 영역과 웨이퍼의 특징에 대한 전문 이미지를 제공하는 통합 디지털 현미경이 있습니다. 이 기능을 사용하면 웨이퍼의 거리를 정확하게 측정할 수 있으며, 3D 단위의 나노 배율 (nano-scale) 기능을 사용할 수 있습니다. 이 현미경에는 이미지 선명화 (sharpening) 와 스티칭 (stitching) 을 위한 고급 소프트웨어가 장착되어 있어 최상의 해상도, 디테일, 정확도를 얻을 수 있습니다. NOVA NovaScan 3090에는 자동 작동 및 향상된 사용을 허용하는 몇 가지 소프트웨어 기능도 포함되어 있습니다. 이 자산에는 빠른 피드백으로 실시간 분석 및 의사 결정을 가능하게 하는 라이브 현미경 (live microscopy) 이 장착되어 있으며, 동적 시각적 검사 기능을 통해 고해상도 이미지를 빠르고, 정확하며, 자동으로 확인할 수 있습니다. 또한 자재 웨이퍼 (material wafer) 의 모든 이상을 자동으로 감지하고 보고할 수 있으므로 비용 효율적이고 안정적인 도량형 모델입니다.