판매용 중고 NOVA NovaScan 3090 #293820380
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NOVA NovaScan 3090은 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형에 적합한 최첨단 스캔 및 도량형 장비입니다. 이 시스템에는 진정한 3 차원 기능이 있습니다. 4 인치 및 6 인치 웨이퍼와 10 인치 및 15 인치 웨이퍼를 측정 할 수 있습니다. 이 컨트롤러는 내장형 컨트롤러와 함께 제공되며, 호스트 컴퓨터에서 명령을 실행할 수 있습니다. 장치는 여러 구성 요소로 구성됩니다. 고급 다이내믹 레인지 옵토 기계식 디자인과 일관된 결과를 보장하는 안정적인 빔 스팟 (beam spot) 크기가 특징입니다. 이 기계는 또한 포토 마스크 (photomask) 정렬과 프로브 스테이지의 미세한 위치를 위해 균형 잡힌 토크 암 (torque arm) 을 갖춘 매우 정확한 스테퍼 모터를 포함합니다. 또한 레이저 빔 정렬은 높은 정확성과 측정 반복 성을 보장합니다. 이 도구는 고급 광학 장치 (advanced optics) 를 사용하여 다양한 매개변수를 측정할 수 있습니다. 고해상도 1 차원, 2 차원, 3 차원 및 4 차원 측정 (고해상도 두께 및 다이 두께) 을 만들 수 있습니다. 또한 고급 자동 초점 및 에지 파인더 기능을 제공하여 정확도를 향상시킵니다. 이 자산은 모델을 면밀히 모니터링하여 결과를 보장하는 강력한 소프트웨어로 구동됩니다. 많은 매개변수 (parameter) 측정을 수행할 수 있으며, 참조 값과 비교할 수 있어 반복 (repeatability) 을 통해 가장 높은 정확도를 보장합니다. 또한 강력한 사용자 인터페이스를 통해 데이터 수집 및 분석 작업을 간소화할 수 있습니다. NovaScan 3090은 여러 가지 고정밀 작업에 적합합니다. 에치 깊이, 평평, 임계 치수, 필름 두께, 모서리 프로파일, 금속 선 너비 및 임계 치수를 빠르고 정확하게 측정하고 이미징 기반 측정을 수행하는 데 사용할 수 있습니다. 또한, 웨이퍼에 대한 입자 분석, 측벽 각도 측정 및 오버레이 보상을 수행 할 수 있습니다. 결론적으로 NOVA의 NOVA NovaScan 3090은 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 고급 스캔 및 도량형 장비입니다. 강력한 소프트웨어 패키지와 사용이 간편한 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 통해 고정밀 (High-Precision) 작업을 손쉽게 선택할 수 있습니다. 이 제품은 다양한 작업에 적합하며, 다양한 업종에서 사용할 수 있습니다 (영문).
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